光学轮廓仪 Zeta-20 多模式三维光学轮廓仪--性能参数，报价/价格，图片

基本信息

产品名称：

光学轮廓仪 Zeta-20 多模式三维光学轮廓仪

英文名称：

Optical Profiler

国产/进口：

进口

产地/品牌：

美国 KLA

型号：

Zeta-20

参考报价：

销售商：

那诺-马斯特中国有限公司

总点击数：

1446

更新日期：

2025-05-30

产品类别：

其它各类仪器

性能参数

产品描述

Zeta-20台式光学轮廓仪是一款非接触式3D显微镜及表面形貌测量系统。该 3D 光学量测系统由已获得专利的 ZDot 技术及多模式光学组件提供支持，可支持各种样品测量：透明和不透明、低反射率和高反射率、光滑表面和粗糙纹理，以及从纳米到厘米范围的台阶高度。

Zeta-20台式光学轮廓仪集六种不同的光学量测技术于一身，是一款可灵活配置且易于使用的系统。ZDot测量模式同时收集高分辨率的3D扫描信息和样品表面真彩色图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量法、诺马斯基光干涉对比显微法和剪切干涉测量法，膜厚测量包含使用ZDot模式测量和光谱反射的测量方法。Zeta-20 也是一款高端显微镜，可用于抽样检查或缺陷的自动检测。Zeta-20通过提供全面的台阶高度、粗糙度及薄膜厚度测量以及缺陷检测功能来支持研发 (R&D) 和生产环境。

Zeta-20台式光学轮廓仪特征优势

配合ZDot及多模式光学组件，光学轮廓仪可以容易地实现各种各样的应用
用于抽样检查和缺陷检测的高质量显微镜
ZDot: 同时收集高分辨率的3D扫描扫描信息和样品表面真彩色图像
ZXI：采用z方向高分辨率的广域测量白光干涉仪 ZIC：亚纳米级粗糙度表面的定量3D数据的干涉对比
ZIC：图像对比度增强，可实现亚纳米级粗糙度表面的定量分析
ZSI：z方向高分辨率
图像的剪切干涉测量法
ZFT：通过集成式宽频反射测量法测量薄膜厚度和反射率
AOI：自动光学检测，可量化样品缺陷
生产能力：具有多点量测和图形识别功能的全自动测量

Zeta-20台式光学轮廓仪应用功能

- 台阶高度：从纳米级到毫米级的3D 台阶高度
- 表面：光滑表面到粗糙表面上的粗糙度和波纹度测试
- 翘曲：2D或3D翘曲
- 应力：2D 或3D 薄膜应力
- 薄膜厚度：透明薄膜厚度由 30nm 至 100µm 不等
- 缺陷检测：捕获大于 1µm 的缺陷
- 缺陷表征：KLARF文件可用于寻找缺陷，以确定划痕缺陷位置，测量缺陷3D表面形貌

Zeta-20台式光学轮廓仪应用领域

太阳能：光伏太阳能电池
半导体和化合物半导体
半导体WLCSP（晶圆级芯片封装）
半导体FOWLP（扇出晶圆级封装）
PCB（印刷电路板）和柔性印刷电路板
MEMS：微机电系统
医疗器械和微流体器件
数据存储
大学、研究实验室和研究所

Zeta-20台式光学轮廓仪应用案例

肖特玻璃-表面粗糙度

可用来测试玻璃等透明表面及不透明表面的形貌和表面粗糙度

太阳能电池–不同反射率表面形貌测量

轻松获得复杂差异化反射率样品的表面形貌

MEMS器件–台阶高度和粗糙度

小尺寸样品nm级台阶精度，大尺寸样品的亚微米台阶精度

镜头-完整的表面轮廓

图像拼接功能，可获得大面积样品的完整表面轮廓

高分子薄膜-膜厚测量

可用于PI和PR薄膜的厚度测量，并可生成整片晶圆上的膜厚mapping

蓝宝石-图案化晶片表面缺陷

可对特定缺陷进行三维轮廓扫描并进行相关测量，并对晶圆表面缺陷按尺寸、亮度、长宽比等进行分布统计并生成mapping

公司简介

那诺-马斯特中国有限公司成立于2015年4月，是服务大中华区(包含中国大陆，香港，台湾和澳门)的客户，同时我们在中国大陆设有专门的服务办公室，提供销售和售后技术服务。那诺-马斯特中国的主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备及太空模拟测试设备等等。Nano-Master的前身是那诺-马斯特美国，该公司是法国那诺-马斯特有限公司于1992年在美国所创立的全资子公司，是一家国际领先的缺陷检测和高速镀层测量的计量公司。自从1993年开始Birol Kuyel博士全面接管那诺-马斯特美国并正式更名。自2001年Nano-Master开始设计开发薄膜应用方面的设备，正式面世的系统依次是磁控溅射、PECVD、晶圆/掩模版清洗系统…。应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD，用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD，溅射镀膜(反应溅、共溅、组合溅)，热蒸发和电子束蒸发，离子束刻蚀和反应离子刻蚀，原子层沉积，兆声清洗以及光刻胶剥离等。三十年左右的时间内Nano-Master已经发展成为全球薄膜设备的供应商，已售出的几百套设备分布于20多个不同国家的大学、研发中心和国家重点实验室。我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务工程师、技术支持人员，使得公司拥有一流的服务团队。作为薄膜工艺的设备提供商，我们的目标是提供高品质的服务并始终维持最高水平的集成度。

售后服务

品质：提供优质的产品和服务，同时通过持续的改进保证对品质的个人所有权。我们选择最好的人选参与到我们的工作，员工均具有丰富的领域经验。承诺：致力于客户的成功。并且伴随按时、按规格、控制预算成本。开发、成长和繁荣以保持竞争水平，并能够以最好的方式服务我们的客户和我们的社区。创新：我们识别、开发并部署最前沿的技术、员工发展计划和过程改进工具。我们认识到创新与效率、产能和品质之间的密切关系。