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KLA D-600高精度探针式轮廓仪/台阶仪

基本信息
产品名称:
KLA D-600高精度探针式轮廓仪/台阶仪
英文名称:
Stylus Profiler
国产/进口:
进口
产地/品牌:
美国 KLA
型号:
Alpha-Step D-600
参考报价:
总点击数:
1580
更新日期:
2026-04-03
产品类别:

性能参数

KLA先进的探针式台阶仪Alpha-Step D-600,可测量纳米级至1200um台阶高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率。

    设备特点

    台阶高度:几纳米至1200μm

    低触力:0.03至15mg

    视频:500万像素高分辨率彩色摄像头

    梯形失真校正:消除侧视光学系统引起的失真

    圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差

    紧凑尺寸:小占地面积的台式探针式轮廓仪

    软件:用户友好的软件界面

 

    主要应用

    台阶高度:2D台阶高度和3D台阶高度

    纹理:2D粗糙度和波纹度

    形式:2D翘曲和形状

    应力:2D薄膜应力

 

    应用领域

    大学,研究实验室和研究所

    半导体和复合半导体

    SIMS:二次离子质谱

    LED:发光二较为管

    太阳能

    MEMS:微电子机械系统

    汽车

    医疗设备

    

    应用说明

    台阶高度

    Alpha-Step D-600探针式轮廓仪能够测量从几个纳米到1200μm的2D和3D台阶高度。 这使其可以量化在蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP和其他工艺期间沉积或去除的材料。Alpha-Step 系列具有低触力功能,可以测量如光刻胶的软性材料。



  

    纹理:粗糙度和波纹度

    Alpha-Step D-600测量2D和3D纹理,量化样品的粗糙度和波纹度。 软件过滤功能将测量值分离为粗糙度和波纹度的部分,并计算诸如均方根(RMS)粗糙度之类的参数。

    

    外形:翘曲和形状

    Alpha-Step D-600可以测量表面的2D形状或翘曲。这包括对晶圆翘曲的测量,例如在半导体或化合物半导体器件生产过程中,多层沉积层结构中层间不匹配是导致这类翘曲产生的原因。 Alpha-Step还可以量化包括透镜在内的结构高度和曲率半径。

    

    应力:2D薄膜应力

    Alpha-Step D-600能够测量在生产包含多个工艺层的半导体或化合物半导体器件期间所产生的应力。使用应力卡盘将样品支撑在中性位置***测量样品翘曲。 然后通过应用Stoney方程,利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。

公司简介
那诺-马斯特中国有限公司成立于2015年4月,是服务大中华区(包含中国大陆,香港,台湾和澳门)的客户,同时我们在中国大陆设有专门的服务办公室,提供销售和售后技术服务。 那诺-马斯特中国的主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备及太空模拟测试设备等等。Nano-Master的前身是那诺-马斯特美国,该公司是法国那诺-马斯特有限公司于1992年在美国所创立的全资子公司,是一家国际领先的缺陷检测和高速镀层测量的计量公司。自从1993年开始Birol Kuyel博士全面接管那诺-马斯特美国并正式更名。 自2001年Nano-Master开始设计开发薄膜应用方面的设备,正式面世的系统依次是磁控溅射、PECVD、晶圆/掩模版清洗系统…。应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD,用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD,溅射镀膜(反应溅、共溅 、组合溅),热蒸发和电子束蒸发,离子束刻蚀和反应离子刻蚀,原子层沉积,兆声清洗以及光刻胶剥离等。三十年左右的时间内Nano-Master已经发展成为全球薄膜设备的供应商,已售出的几百套设备分布于20多个不同国家的大学、研发中心和国家重点实验室。 我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务工程师、技术支持人员,使得公司拥有一流的服务团队。作为薄膜工艺的设备提供商,我们的目标是提供高品质的服务并始终维持最高水平的集成度。

售后服务
品质:提供优质的产品和服务,同时通过持续的改进保证对品质的个人所有权。我们选择最好的人选参与到我们的工作,员工均具有丰富的领域经验。 承诺:致力于客户的成功。并且伴随按时、按规格、控制预算成本。开发、成长和繁荣以保持竞争水平,并能够以最好的方式服务我们的客户和我们的社区。 创新:我们识别、开发并部署最前沿的技术、员工发展计划和过程改进工具。我们认识到创新与效率、产能和品质之间的密切关系。
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