台式扫描电镜
CEM3000系列台式扫描电镜用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析。其抗振设计,在充满机械振动和噪音的工业环境中依旧稳如泰山,拍摄出清晰、高分辨率的图像。
CEM3000系列台式扫描电镜在工业领域展现出广泛的应用价值,标配有高性能二次电子探头和多象限背散射探头、并可选配能谱仪、低真空系统,能满足用户对多类型样品的观测需求,实现微观的形貌和元素分析等。
核心优势
1、紧凑灵活,突破空间限制
(1)台式设计,体积小巧,轻松摆放在桌面或狭小空间(如手套箱、移动实验室),节省实验室空间。
(2)支持快速移机,一台设备满足多场景需求,助力科研效率提升。
2、高性能,纳米级分辨率
(1)空间分辨率优于4nm(SE),支持高达200,000倍放大,精准捕捉纳米材料、微流控芯片等样品的微观形貌。
(2)高衬度成像系统,快速扫描也能清晰呈现微弱信号,满足材料科学、生命科学等领域的需求。
3、抗振防磁,稳定无惧挑战
(1)特殊隔振设计(CEM3000B搭载复合抗振系统),消除环境振动与电磁干扰,保障高倍成像质量。
(2)适用于工业车间、车载实验室等复杂环境,稳定可靠。
4、高效便捷,一键智能操作
(1)快速抽放气技术:低真空模式仅需40秒(CEM3000B),高真空模式最快1.5分钟,大幅缩短等待时间。
(2)自动对焦、消像散、图像增强功能,一键生成高质量图片,降低操作门槛。
5、灵活拓展,满足多样需求
(1)可选配低真空系统(5~100Pa),兼容导电/非导电样品观测。
(2)支持二次电子、背散射电子探头及能谱仪,搭配颗粒统计、孔隙率测量等定制功能,满足多领域分析需求。
CEM3000系列台式扫描电镜则凭借其简便的操作系统,让复杂的扫描电镜使用过程变得简单快捷。样品一键装入,自动导航和一键出图能力(自动聚焦+自动消像散+自动亮度对比度)帮助用户在短短几十秒内就可获取高清图像,大大提升了使用效率。
1)台式电镜紧凑的外型,CEM3000系列台式扫描电镜能够不受场地尺寸制约,真正做到了空间适用性,用户甚至可以将其就近摆放在自己的桌面上。同时CEM3000也能根据用户需求,轻松移机,一台机器多处开花;
2)高分辨率,能够对微尺寸特征进行观测分析,满足用户的观测需求;
3)快速抽放气,凭借真空系统设计,该系列台式电镜缩短了用户抽放气的等待时间;
4)高易用性,能够快速成像、一键出片,用户使用自动调节功能,无需过多人工操作,就可得到高质量拍摄图片;
5)大样品仓,CEM3000A在保证较小外型尺寸同时,具有比肩立式电镜的大仓室,从而容纳更大尺寸样品;
6)高抗振防磁性能,全系列电镜均具有优秀的抗干扰能力,特别是CEM3000B使用本公司技术,基于复合抗振手段,将扫描电镜抗振性能提升到了新的高度;
7)可选配低真空模式,保证用户能够根据需要设定电镜样品仓内真空度,进而对不同类型的样品进行观测;
8)能够提供多种成像参数供用户选择,满足专业用户的调节需求;
9)搭配有多种探头,能够对样品进行多种手段的分析。
应用领域
该电镜外型紧凑,空间适用性强,整机采用大量的抗干扰设计,避免使用环境造成的影响,拓宽了应用范围。同时,该系列台式电镜具有非常丰富的自动调节功能,能够对不同类型的样品进行观测,具有高空间分辨率。
用户可在CEM3000系列台式扫描电镜上搭配不同的探头,同时接收多种信号,对样品进行分析。
应用范例:
部分技术指标
型号 |
CEM3000A(大样品仓型) |
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电子枪 |
灯丝 |
钨灯丝 |
分辨率 |
优于4nm(SE),优于8nm(BSE) @20kV |
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加速电压 |
1 ~ 20kV |
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放大倍数 |
电子图:40 ~ 200,000×(可选配大图拼接) |
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探测器 |
二次电子 |
标配 |
背散射电子 |
标配(四象限高分辨探头) |
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能谱仪 |
选配 |
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自动化软件 |
标配:自动合轴、自动聚焦、自动消像散、一键图像增强 |
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选配:颗粒度统计、孔隙率测量、纤维测量、三维粗糙度重建 |
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真空系统 |
真空度 |
高真空:优于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(选配) |
抽真空时间 |
低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min |
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样品台 |
自动轴 |
X,Y,T |
手动轴 |
R,Z |
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行程范围 |
X: 50mm |
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Y: 50mm |
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R: 0°~360°(手动旋转、电子束旋转) |
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T: -22.5°~ +22.5° |
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Z: 45mm |
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最大样品尺寸 |
70mm×70mm(水平) 45mm(高度) |
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仓内相机 |
导航相机 |
标配高分辨彩色相机 |
侧视相机 |
标配高分辨红外相机 |
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操作系统 图片尺寸 |
Windows10 (64bit) |
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640×480 |
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1280×960 |
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2560×1920 |
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5120×3840 |
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10240×7680 |
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