RUIDU 科研型纳米压印系统 - 桌面式
系统说明 RUIDU 科研型纳米压印光刻系统 RD-NIL100
RUIDU 科研型纳米压印光刻系统 RD-NIL100,是一款桌面型纳米压印光刻系统,可分为4、6、8英寸。适合高校研究、企业预研用途。主要应用于微米或纳米结构的压印成型。
系统特点 |
•● 桌面型,4 / 6 / 8英寸可选
●• 热压印<230℃,误差±2℃
•● 真空环境作业,<1mbar
●• 可压印分辨率<50nm图案
可实现图案转移分辨率 |
分辨率<50nm,可同时实现UV紫外固化和热压印两种模式 |
压印精度控制及均匀性 |
在紫外固化模式下,可实现5:1深宽比,优异的压印高度均匀性 |
热压印 |
230℃;100°C/min升温速度;可以根据压印材料,通过软件实现不同温度控制 |
UV光源 |
配置i-line 365nm光源,光源能量值可达400mW/cm2 |
压力控制 |
真空腔≤100Pa;气压腔0.0-0.3bar,采用进口干泵机 |
压印平台 |
平整度TTV<5μm,确保长期的高精度、高稳定性 |
检测模块 |
配置气压及温度检测模块,与软件配套,可实现特定环境的控制 |
通讯接口 |
USB2.0标准计算机与仪器通讯接口 |
压印室尺寸 |
直径~105mm,高度~12mm(4寸) |
应用软件 |
支持自定义 :可根据客户压印材料不同,控制不同气温,UV紫外照射时间及量 |
操作控制:提供简单易操作的控制流程,同时支持管理员模式更改个别需求参数 |
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实时监控:监控压印腔体内的温度、压力数据,实时反映在监控软件上 |
•● DOE(人脸识别衍射元器件) |
●• Diffuesr(扩散元器件) |
•● AR波导片 |
●• 微透镜阵列 |
•● 微流控芯片 |
●• 微针 |
▲ 175nm宽度光栅
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上海睿度光电科技有限公司(RUIDU)成立于2009年,一直专注于通过Inkjet、EHD、Ultra-sonic等多种微流体控制技术进行高精度功能性纳米材料微纳沉积打印的开发及应用,是一家致力服务于生命科技、人工智能、医疗健康、半导体集成电路、柔性印刷电子、空天科技、深地深海等产业的智能装备,战略研究的技术企业。
我们主要从事高精度功能性纳米材料微纳沉积打印技术方案咨询、系统研发、生产和销售,可根据您的需求,提供合适的产品与理想的服务。
我们团队均来自各大重点高校院所的人才,有着丰富的理论与实践经验;睿度光电依托多年积累的微流体喷射先进技术,并在我们产品与服务中融入了专业细致的设计理念,可实现各类高精度功能性纳米材料微纳沉积打印和精细涂层系统的定制化开发和装备集成,为客户产品提供壁垒支持。我们坚持从技术到装备,我们提供多种选择;从科研到产业,我们展示多种可能。
我们所研发及销售的产品在柔性印刷电子、晶体管分子器件、功能薄膜图像化沉积、微透镜阵列光学器件、AMOLED/OLED有机薄膜显示器件、各类精密高性能传感器、EUV光源液滴靶制造、气溶胶发生、心血管支架外周支架药物喷涂、药物球囊及覆膜支架喷涂、组织工程及器官3D成型、高精度3D微结构增材制造、药物微球制作、生物快速诊断基因芯片Lab-on-chip、高通量喷墨打印DNA合成、新能源光伏电池、大气物理水汽标定、倒装芯片封装、晶体管矩阵、微液滴理化性质研究等诸多领域均有应用,是升级和替代传统工艺的高效选择。
目前,我们已拥有20多项Inkjet相关专有权益,随着睿度光电的不断成熟,产品和应用创新脚步也正处于加速中,助推中国精微制造技术的产业化进程是睿光电一直以来的愿景,公司现已为国内100多家高校和研究所、电子半导体公司、生物基因公司、显示器件公司、医疗器械公司等各类前沿应用头部企业提供专业全面的系统解决方案,诸多前沿应用睿度光电均与有荣焉。
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