EA电性失效分析系统（EBIC）
基本信息
产品名称：
EA电性失效分析系统（EBIC）
英文名称：
国产/进口：
进口
产地/品牌：
德国/PE
型号：
EA
参考报价：
销售商：
总点击数：
482
更新日期：
2025-06-09
产品类别：
性能参数
尚丰科技向用户提供基于EBIC@EBAC-RCI技术的EA电性分析系统。
EBIC电子束感生电流分析系统是一种基于扫描电子显微镜（SEM）的图像采集及分析系统，主要用于半导体器件及光电材料、太阳能电池等的失效及结构分析。
它通过分析电子束照射样品时在样品内产生的电流信号，以图像方式直观表征出样品特征、样品中P-N结位置、失效区域，并可以突出显示样品的非同质性区域，从而对样品进行全面分析。
EBIC应用领域包括但不限于：
2）P-N结缺陷区域定位；
3）双极电路中导致集电极-发射极漏电电流的收集管路的探测；
4）探测额外连接或者多层掺杂；
5）确定静电放电/电过载（ESD/EOS）导致的失效位置；
6）测量减压层/耗尽层（depletion layer）宽度和少数载流子扩散长度和时间（minority carrier diffusion lengths/lifetimes）
等等。
EBIC图像对于电子-空穴的重新组合非常敏感，因此EBIC技术能够非常有效的对半导体材料缺陷等进行失效分析。
EBIC 信号采集系统
一流的硬件和软件，构成高品质的用于SEM/TEM的定量电性分析系统
和电子活动相关联的样品形貌、组成及结构图像
- 同步记录EIBC电子束感生电流、二次电子、背反射电子以及X射线能谱信号。
- 为样品空间关联信息赋予不同颜色和混合信号。
- 区分样品主动和被动缺陷。
为透射电镜TEM和原子探针显微镜制样
- 高空间分辨率条件下，对TEM样品制备中的缺陷进行定位
- 有效避免在FIB电镜中使用EBIC直接获取图像时造成的校正误
- 制样过程中，可通过实时EBIC图像功能随时停止样品研磨
通过内置直流偏压及实时覆盖（live overlay）功能，确认设备操作模式
- 通过图像直接显示延迟装置（delayered device）中的节点及区域形貌
- 直接显示太阳能电池中的电子活动图像
- 通过系统模拟功能可直观地通过图像对比样品电学性能
系统允许的最高分辨率下，以图像方式直接显示样品连结缺陷
- 通过电子运动特征，对样品结构缺陷进行观测分析
- 通过图像直观显示PN结活动区域和电场区域
- 可获得样品掺杂区域分布图
运用样品的高度数据，获取样品三维信息
- 通过调整扫描电镜中电压，获得EBIC信号中的样品高度信息
- 可对FIB电镜中的样品截面EBIC图像进行分析
- 可为样品3D图像重构输出样品高度信息
高度集成的原位电学样品杆，低噪音，高速度
尚丰科技致力于引进推广先进的材料、生物显微观测及微区分析仪器，向科研人员提供高附加值服务。
我们拥有一支涉及众多领域高素质的应用支持团队，为各行业的应用需求提供专业的解决方案和售后服务。
敬请联络 尚丰科技
010-62369061 18612994836
guo_sem@163.com
公司简介
尚丰科技致力于引进推广先进的材料、生物显微观测及微区分析仪器，向科研人员高附加值服务，促进中国的科学技术发展。
尚丰科技产品包括德国Point Electronic电子束感生电流分析系统EBIC，电子束吸收电流分析系统EBAC-RCI，扫描透射电子束感生电流分析系统STEBIC等，以及德国MICROTEC大型精密切片机等等。
我们拥有一支涉及众多领域高素质的应用支持团队，为各行业的应用需求提供专业的解决方案和售后服务。
尚丰科技产品包括德国Point Electronic电子束感生电流分析系统EBIC，电子束吸收电流分析系统EBAC-RCI，扫描透射电子束感生电流分析系统STEBIC等，以及德国MICROTEC大型精密切片机等等。
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售后服务
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