工作条件
1.1 电力供应:220V(±10%),50Hz
1.2 工作温度:15°C-25°C
1.3 工作湿度:< 60%
1.4 连续工作时间:可连续运行操作
2. 技术规格
2.1 该仪器是先进的表面分析仪器。其由真空系统、电子光学系统、高位/低位二次电子探测器、背散射电子探头、物镜等构成。附件包括X射线能谱仪、离子溅射仪等。
2.2技术规格
★2.2.1二次电子像分辨率:0.8nm ( 15 kV),1.0 nm ( 1 kV )
★2.2.2背散射电子像分辨率:1.5nm
2.2.3 加速电压:0.1kV ~ 30kV连续可调
★2.2.4束流范围:热场发射电子枪,数pA~200nA(15kV),分析效率极高
2.2.5放大倍率25X – 1,000,000X ;放大倍数粗、细模式连续可调,具有随着工作距离或加速电压的变化自动精确校正、补偿、预设功能
2.3 电子光学系统
2.3.1电子枪:浸没式肖特基(Schottky)热场发射电子枪,自动合轴调整功能。
★2.3.2 电子枪寿命 质保期≥3年,业内平均寿命5年以上
2.3.3 聚光镜: 电磁透镜会聚系统,束流强度可连续可调;光阑角度控制透镜自动控制束斑尺寸(专利) ,20nA以下无需手动切换光阑
2.3.4物镜:最佳光阑角控制器ACL系统,强励磁圆锥形物镜极靴
2.3.5物镜光阑:4级可调、X/Y方向精细可调对中(20nA以下无需手动切换光阑)
2.3.6消像散器:八级电磁系统,具有自动消像散功能
2.3.7扫描线圈:2级电磁系统,具有扫描图像旋转连续可调,并随工作距离能自动旋转补偿等功能
2.3.8自动调整功能:具有自动透镜控制、自动合轴、自动聚焦、消像散、反差、亮度调节功能,样品台导航控制等功能,并兼有手动调整功能