Load Port对应膜厚测量系统 GS-300
基本信息
产品名称：
Load Port对应膜厚测量系统 GS-300
英文名称：
国产/进口：
进口
产地/品牌：
日本/大塚
型号：
参考报价：
销售商：
总点击数：
524
更新日期：
2025-05-14
产品类别：
性能参数
●Φ支持到300mmEFM单元备用端口的集成
●实现嵌入在晶片中的布线图案的图案对齐
●支持半导体工艺的高吞吐量要求
●支持槽口对齐功能
●小尺寸规格
●高精度自动校准单元
产品信息
测量示例
TSV嵌入式图形晶圆研磨后的硅厚度
晶圆厚度Φ300mm尺寸
规格
公司简介
上海波铭科学仪器有限公司成立于2013年，是一家专业从事科学仪器研发、生产、 销售于一体的高科技技术企业。公司主要服务于全国各大高校、科研院所和高尖端工 业客户。主要提供光学仪器如光栅光谱仪、荧光光谱仪，膜厚测量仪，探测器响应分 析仪、太阳能电池量子效率测试系统等科研实验室仪器；及光学机械加工设计，电子 测量等专业的解决方案服务。公司以“专注质量、用心服务”为核心价值。希望通过 我们的专业水平和不懈努力，力争为中国的科研及精密制造事业贡献一股力量。 上海波铭科学仪器公司为美国理波公司（Newport）、日本大塚（Otsukael）正 式代理商。配有专业光学技术人员，专注于光学仪器市场的开发和应用，已经为复旦 大学、上海交通大学、上海科技大学、南京大学、中国科技大学、北京大学、清华大 学、联影医疗、思特威电子等用户提供专业的服务。 公司成立多年来，我们一直秉承以用户需求为核心，在专注光学等核心技术市场的 同时，已经为超过一百家高校科研院所和企业提供了成套和部分的解决方案服务。优 质、用心的服务赢得了众多用户的信赖和好评。公司不仅仅提供专业的光学解决方案 服务，同时还建立了完善的售后服务体系。我们相信，通过我们的不断努力和追求， 一定能够实现与高校、企业、科研院所的互利共赢！
售后服务
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