卷对卷等离子清洗机 常压等离子清洗机
真空室自动开关,一键式启停,操作简单方便
真空室内置张力控制系统,稳定材料涨缩,使处理更加平稳
***等离子发生器,激发更为稳定之等离子体
水平电极结构设计,更适合柔性材料
采用中通水冷电极,真正实现过程温度控制,均衡均一
***的卷曲设计,解决卷式材料穿料问题,牵引材料更便捷
***速度控制,***控制速度的同时,实现恒张力恒速度
型号 |
RTR100L-W500 |
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控制系统 |
控制方式 |
全自动控制(自动/手动切换) |
PLC(标配)/PC(可选) |
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操作系统 |
Windows 10 |
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触摸屏 |
7寸 |
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整机规格 |
尺寸 |
W6900×D1650×H1150mm |
腔体 |
处理宽幅 |
<520mm |
材质 |
铝合金(标配)/不锈钢(可选),腔体3段式 |
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冰水机 |
通路 |
用于电源、电极、真空泵浦的冷却 |
供电 |
AC380V、3PH、50/60Hz、3KW |
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蚀刻能效 |
速率 |
≥0.5?m/Min |
均匀性 |
≥90% |
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真空计 |
薄膜硅电容*** |
1个,0-10Torr |
流量计 |
MFC质量流量控制器 |
4个,量程0-2000ml/min |
真空泵 |
干泵机组(螺杆泵+罗茨泵) |
1套,120m3/h+1800 m3/h;极限真空值≤50mTorr |
发生器 |
中频 |
40KHz,20KW |
温度控制系统 |
过程温度控制 |
30-150℃恒定可控 |
张力控制系统 |
数显张力 |
- |
其它 |
工艺气体:14MPa减压至0.3MPa,O2=9.99%;Ar=99.99%;N2=99.99%;CF4=99.999% 气体压力:0.2MPa≤气源≤1MPa;气源压力:0.3-0.8MPa;气源纯度:无油无水干燥气体;工作环境温度:≤30℃;冻水流量:5 SLM;干燥Air/N2流量:17 SLM |