Slotdie狭缝涂布机
多种规格尺寸可选可定制,多种人性化配置可选:加热台、特殊气体吹淋系统、多尺寸刀头,多规格垫片等,满足客户多种需求,为客户量身定制高精密专业设备。
特点&优势:
1. 涂布效果好,进口涂布刀头,针对高一致性、 化学兼容性、低充填容量和条状涂布设计。涂布平整均匀度可达±5%。
2. 操控精度高,涂布速率(稳态涂布)和涂布轮廓(前后边缘)的高精度数字化控制,可实现膜厚500nm~50um。
3. 涂布面积大,支持有效涂布宽度100mm~500mm。
4. 预计量工具,可前期计算工艺参数,减少溶液浪费。 材料利用率可达95%
5. 能够满足不同阶段需求:从研发(实验型)到中试型、量产型
6. 高度可定制,支持更大涂布面积定制、多种规格选配如风刀、真空吸附、加热台、双头注液泵等,支持高粘度材料。
过程参数:
涂布间隙控制:高精度,动态控制涂布头高度 (z轴)
模具运动控制: 在涂布方向上(x轴)精确控制模具的运动轨迹(包括加速和减速参数)
模具设计: 针对高一致性、化学兼容性、低充填容量 和 条状涂布进行模具设计制造
涂布控制: 涂布速率(稳态涂布) 和涂布轮廓 (前后边缘)的高精度数字化控制
控制软件: 所有配方参数,数据监控和反馈控制,数据采集分析。
有效涂布面积 |
100mm*100mm/200mm*200mm |
涂布平台面积 |
220mm*220mm |
涂层湿膜厚度 |
10-200um |
涂层干膜厚度 |
0.5-10um |
固含量 |
10-50% |
粘度 |
1-20000cps |
涂布速度 |
0-100mm/s |
出液速度 |
0.1-60mL/min |
储液罐容量 |
50ml |
涂布有效宽度 |
200mm |
刀头高度 |
0-50mm |
模头与平台距离 |
精调可调范围:0-10mm 单位调节精度:0.001mm 粗调可调范围:0-50mm |
刀头水平度 |
±2um |
平台平整度 |
±1.5um |
刀头狭缝宽度 |
0.05/0.08/0.1mm(由垫片厚度决定) |
电源电压 |
AC 220V x 50Hz |
基台固定 |
真空吸附 |
基台配置 |
原位加热功能,温度200℃,控温精度±2℃(可选) |
额外配置 |
风刀+对刀仪(可选) |