此设备主要由主轴系统、自动供胶系统、对中系统、排风系统等附件以及控制系统组成。自动动取片、自动完成对中、滴胶、匀胶等工艺。匀胶单元基片采用真空吸附，匀胶单元加有上盖保护，上盖材料采用耐腐蚀NPP材质，主轴电机采用进口交流无刷伺服电机，保证旋转速度、 加速度控制精度高，重复性、稳定性好；多件套组成的防溅杯（罩）可实现废液收 集、气流控制等功能，使匀胶工艺条件达到最佳；为保证人身安全，这些防溅杯（罩） 等均用一定强度的 PP 材料制成。
该设备主要由主轴单元、胶液供给系统（显影管路附加恒温装置）、清洗系统、控制系统等组成，采用框架结构，外表为优质不锈钢镜面护板，无发尘量且不吸浮尘颗粒，同时设备上面加有100级的FFU系统（0.1微米的过滤）；工作方式为手动上下片，自动完成滴胶、甩胶、EBR、BSR、RRC等工艺。
         为适应基片匀胶，匀胶工艺腔体为多层气液分离结构；主轴电机采用进口交流伺服电机，承接晶圆采用PIN升降气缸，不让主轴升降，可保证旋转精度、加速度控制精度高，重复性、稳定性好。多件套组成的防溅、废液收集、气流控制，使涂胶工艺条件达到最佳，以形成均匀性高的胶膜，满足光刻工艺要求。为保证人身安全，加有上盖的防溅（罩）等部件均用一定强度的金属材料制成。有两路供胶液系统(一路低粘度供胶，一路高粘度供胶)一路EBR，一路BSR，一路RRC液体的配置工艺要求。边洗与背洗+预湿（EBR&BSR&RRC）功能通过氮气加压的方式给供，采用 2 加仑的标准液罐 SUS316- TANK；并加有流量控制及气体通断功能，管路同时配备回吸与通断，以防漏滴；液体的有无通过液罐液体传感器控制。
        控制系统上位机控制，windows 操作系统+触摸屏组成，动态画面人机交互，显示设备运行过程中各工艺功能执行情况；工艺参数数字，用户使用分等级（三级，操作、工艺、设备工程）、严重紧急情况、超限报警；自由编制、修改、编辑、储存、调用工艺程序；故障、生产工艺参数等可长期保存备查；操作简便，故障提示导寻，同时设备上方加有摄像机实时画面监控工功能，设备可以通过网口以及USB口传输数据及导出部份数据，设备维修便利。