8寸双面探针台
样品台尺寸:8寸不锈钢卡盘,样品台电学独立悬空,可接背电极
样品固定方式:真空吸附,配置4个真空开关
气动升降平台,可双面点针,落下可作单面探针台试用
垂直/水平双显微镜结构
样品台X-Y微调:200*200mm,精度5微米
样品台X-Y粗调:气动控制,可调节样品台在XY平面内自由移动
样品台Z轴行程:12mm,微调升降精度5微米
样品台旋转:可360°旋转,粗调快速旋转带锁死
显微镜X-Y轴行程:50*50mm
显微镜升降:气缸自动控制,配套独立控制开关
针座平台微调升降:行程10mm,精度0.1mm
尺寸:680*750*780mm
重量:约180千克
可满足I-V/C-V,PIV测试,光电测试,射频测试等
单位名称: |
详细地址:
深圳市福田区华强北街道福强社区深南中路2010号东风大厦1601A-49
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