Knights系列 深紫外激光器
Knights系列产品是科韵光电自主研发的深紫外皮秒准连续激光器。能够为严苛的工业应用提供高稳定性的355nm、266nm等波长,输出功率高达4W。
Knights系列产品在百级洁净间内完成生产,激光头全密闭,具备自动换点功能,适合7×24小时无间断运行。Knights设计平台兼容更高输出功率,定制重复频率等要求,适合各类应用尤其半导体检测环境。
型号 | Knights-355-4000 | Knights-266-1000 |
中心波长 | 355±0.5nm | 266±0.5nm |
平均功率 | >4000mW | >1000mW |
脉冲宽度 | <10ps | <10ps |
重复频率 | 120±2MHz | 120±2MHz |
输出方式 | 空间光输出 | 空间光输出 |
光束指向稳定性 | <25μrad | <25μrad |
功率稳定性 | <1.5% rms | <1.5% rms |
光束质量 | M2<1.3 | M2<1.3 |
激光器尺寸(分体式) | 748×526×135.5mm | 748×526×135.5mm |