全自动探针台
基本信息
产品名称：
全自动探针台
英文名称：
Automatic Probe Station
国产/进口：
国产
产地/品牌：
华矽半导体
型号：
H300
参考报价：
销售商：
总点击数：
155
更新日期：
2025-02-14
产品类别：
性能参数
全自动晶圆探针台 300 系列具有如下特性。
(1) 适用于 12 寸&8 寸（300mm&200mm）尺寸晶圆的测试
(2) 全自动测试
(3) 产能高
(4) 稳定可靠的高精密视觉对位
(5) 更高刚性的平台适配多 site 针测
| 适用的晶圆尺寸 | 12寸/8寸 |
| 适用晶圆厚度 |
200-2200μm
|
| 综合精度 | XY轴：±1μm；ZF轴：±2μm |
| Index time | 240ms(X/Y:10mm, Z:0.5mm) |
| 针测压力 | 200kgf |
| 测试温度 | 常温~150℃±1℃ |
| 测试机对接方式 | Cable, Hard Docking, Direct Docking |
| 通讯接口 | GPIB, RS232 |
| 设备尺寸 | 1750mm(W)*1690mm(D)*1460mm(H) |
| 设备重量 | 2000kg |
| 电力要求 | 220VAC 2.0KVA |
| 压缩空气气压 | ≥0.6MPa |
| 真空气压 | ≤-60kPa |
公司简介
广东华矽半导体设备有限公司
位于广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区，专业从事微纳级半导体设备的研发、生产、销售及技术支持服务。
公司现阶段主营产品为全自动晶圆探针台，在研项目有KGD、AOI等。
公司拥有一支由国内知名高校毕业、国内外知名企业工作经验的博、硕士复合技术背景研发团队，有近二十年微纳级精密设备开发经验。
研发团队具备精密机械设计、高精度运动控制、光学与机器视觉、材料与热力学等跨领域精密工业技术的正向研发能力，具有多项微纳米高精尖“首台套装备”的成功研发和商业化经验。
以科技推动发展，以创新改变未来，华矽扎根东莞立足粤港澳大湾区，面向全球，华矽人将秉承“正直、共赢、卓越、坚持”的企业精神，矢志不渝，笃行不怠，致力于打造国际一流的半导体高端设备，成为半导体装备领域有影响力的品牌，助力半导体制造领域的发展。
售后服务
相关视频
暂无
资料下载
暂无
联系方式
| 单位名称： |
|
详细地址：
广东省东莞市松山湖园区学府路1号9栋803室
|
|
qq：
|
|
联系电话：
0769-21688316
|
| Email： |
