聚焦离子束电子束双束显微镜DB550
基本信息
产品名称：
聚焦离子束电子束双束显微镜DB550
英文名称：
国产/进口：
国产
产地/品牌：
国仪量子
型号：
DB550
参考报价：
销售商：
总点击数：
225
更新日期：
2025-05-22
产品类别：
性能参数
聚焦离子束电子束双束显微镜DB550
DB550是一款优雅全能的纳米分析和制样工具，低电压高分辨的电子镜筒，保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒提供了高稳定、高质量的离子束流，保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器，一体化设计的控制软件，为您打造全能纳米分析和加工中心。
产品优势
技术介绍
"承影"离子镜筒
技术特点
分辨率：3 nm@30 kV
探针电流：1 pA~65 nA
加速电压范围：500 V~30 kV
使用寿命：≥1000小时
长时间稳定性：72小时不间断工作
离子束-电子束协同
气体注入器
单气体注入
多种气源可选
伸缩距离≥35 mm
重复定位精度≤10 um
加热温度控制精度≤0.1℃
加热温度范围：室温~90℃
集成式控制方式
应用案例
产品参数
电子束系统
离子束系统
样品室
探测器和扩展
软件
DB550是一款优雅全能的纳米分析和制样工具，低电压高分辨的电子镜筒，保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒提供了高稳定、高质量的离子束流，保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器，一体化设计的控制软件，为您打造全能纳米分析和加工中心。
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低压高分辨电子镜筒 |  |
“承影”离子镜筒 |  |
丰富的扩展能力 |
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集成式气体注入器 |  |
集成式纳米机械手 |  |
快速换样仓（最大8寸） |
产品优势
- 高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒，高分辨率成像，兼容磁性样品
- “承影”离子镜筒，高稳定、高质量的离子束流，用于高质量纳米加工和TEM制样
- 样品仓内压电陶瓷驱动的机械手，集成式控制方式，操作精准到位
- 自主可控，扩展性强，集成化设计的离子源更换时间快，极致的售后服务
技术介绍
"承影"离子镜筒
技术特点
分辨率：3 nm@30 kV
探针电流：1 pA~65 nA
加速电压范围：500 V~30 kV
使用寿命：≥1000小时
长时间稳定性：72小时不间断工作
纳米机械手
技术特点
仓内安装方式
全压电驱动
编码精度≤10nm
最大移动速度2mm/s
集成式控制方式
技术特点
仓内安装方式
全压电驱动
编码精度≤10nm
最大移动速度2mm/s
集成式控制方式
离子束-电子束协同
气体注入器
单气体注入
多种气源可选
伸缩距离≥35 mm
重复定位精度≤10 um
加热温度控制精度≤0.1℃
加热温度范围：室温~90℃
集成式控制方式
应用案例
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| 28nm Cu制程芯片 Top view | Al制程截面 |
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| PCB 截面大尺寸切割 | SiC 掺杂 |
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| 纳米机械手提取样品 | 三元材料截面 |
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| 石墨颗粒截面 | 太阳能光伏银线截面 |
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| 钛金周薄片中的增强相 | 陶瓷材料截面 |
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| 铁素体马氏体钢(微磁)DB500 电子像 | 铁素体马氏体钢原子像(STEM-HAADF) |
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| 透射制样 | 原位加热EBSD样品制备 |
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| 原位拉力样品制备 | 原位透射拉力样品制备 |
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| 原位压力样品制备 | 质子交换膜截面 |
产品参数
电子束系统
| 电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 |
| 分辨率 | 1.2 nm@15 kV |
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV |
离子束系统
| 离子源类型 | 液态镓离子源 |
| 分辨率 | 3 nm@30 kV |
| 加速电压 | 500 V ~ 30 kV |
样品室
| 真空系统 | 全自动控制，无油真空系统 |
| 摄像头 | 三摄像头 |
| （光学导航+样品仓内监控x2） | |
| 样品台类型 | 五轴机械优中心样品台 |
| 样品台行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm |
| T: -10°~+70°，R: 360° |
探测器和扩展
| 标配 | 镜筒内电子探测器 |
| 旁侧二次电子探测器（ETD） | |
| 选配 | 插入式背散射电子探测器(BSED) |
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | |
| 能谱仪（EDS） | |
| 背散射衍射（EBSD） | |
| 纳米机械手 | |
| 气体注入器 | |
| 等离子清洗 | |
| 样品交换仓 | |
| 轨迹球&旋钮控制板 |
软件
| 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
公司简介
国仪量子的核心技术是以量子精密测量为代表的先进测量技术，为全球范围内企业、政府、研究机构提供以增强型量子传感器为代表的核心关键器件、用于分析测试的科学仪器装备、赋能行业应用的核心技术解决方案等优质的产品和服务。 公司源于中国科学技术大学，实验室在高端科学仪器、关键核心器件的研制领域深耕十余年，多项技术、研究成果突破国际封锁和禁运，并获得 ”中国科学十大进展“” 国家自然科学二等奖“”中国分析测试协会科学技术奖特等奖“等诸多奖项。 公司传承实验室的创新基因与探索精神，为全世界的科技工作者提供探知微观世界的一把尺子，获得”2021年安徽省科学技术奖一等奖“”朱良漪分析仪器创新奖“”安徽省新型研发机构“”安徽省量子精密测量创新中心“”安徽省专精特新冠军企业“等奖项。 公司面向量子科技、材料科学、化学化工、生物医学、工业领域、科学教育、能源勘探等领域，致力于帮助客户更高效地推动技术的发展，探索并创造人类的未来。
如有磁共振系列产品、扫描电镜系列产品、气体吸附系列产品需求，请联系国仪量子，会为您提供最适合您的服务！
刘工：17756583348
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售后服务
相关视频
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资料下载
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