高速扫描电子显微镜HEM6000
基本信息
产品名称：
高速扫描电子显微镜HEM6000
英文名称：
国产/进口：
国产
产地/品牌：
国仪量子
型号：
HEM6000
参考报价：
销售商：
总点击数：
102
更新日期：
2025-05-22
产品类别：
性能参数
HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。
采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了超快的数据采集和成像速度，同时保证了纳米级分辨率。
面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。
图像采集速度
10 ns/pixel，2*100 M pixel/s
加速电压
100 V~6 kV(减速模式) ； 6 kV~30 kV(非减速模式)
分辨率
1.3nm@3kV，SE；1.5nm@1kV，SE，0.9nm@30kV，STEM
视场大小
最大视场1*1 mm²，高分辨微畸变视场64*64 um²
样品台精度
重复定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um
产品优势
高速自动化
全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍
大场低畸变
跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变
低压高分辨
样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率
应用领域
应用案例
产品参数
采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了超快的数据采集和成像速度，同时保证了纳米级分辨率。
面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。
图像采集速度
10 ns/pixel，2*100 M pixel/s
加速电压
100 V~6 kV(减速模式) ； 6 kV~30 kV(非减速模式)
分辨率
1.3nm@3kV，SE；1.5nm@1kV，SE，0.9nm@30kV，STEM
视场大小
最大视场1*1 mm²，高分辨微畸变视场64*64 um²
样品台精度
重复定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um
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| 高速扫描驱动器 | 电子过滤系统 | 全静电高速偏转系统 | 样品台减速技术 | 浸没式电磁复合物镜 | ||||
| 驻点时间10 ns/pixel， 最快采集速度2*100 M pixel/s |
SE/BSE信号自由切换， 信号混合比例可调 |
可实现高分辨大场模式， 4 nm像素点最大视场达64*64 um² |
降低入射电子落点电压， 同时提高回收电子的收集效率 |
物镜磁场浸没样品实现了低像差高分辨率 |
产品优势
高速自动化
全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍
大场低畸变
跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变
低压高分辨
样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率
应用领域
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| 半导体工业 | 生命科学 |
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| 材料科学 | 地质科学 |
应用案例
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| 芯片（金属层）/ 116x / BSE / 120 ns | 芯片（器件层） / 2000x / BSE / 40 ns | 芯片（金属层）/ 1200x / BSE / 120 ns | 芯片（金属层）/ 1200x / BSE / 120 ns |
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| 芯片（器件层） / 1200x / BSE / 120 ns | 生物切片 / 9500x / BSE / 120 ns | 生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns | 生物切片 / 116x / BSE / 120 ns |
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| 肾小球 / 1,800x / BSE / 120ns | 睾丸切片 / 9,500x / BSE / 120ns | 肾脏病理切片 / 40000X / STEM / 320ns | 肾脏病理切片 / 38,571x / STEM / 320ns |
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| 肾脏病理切片 / 9,324x / STEM / 320ns | 肾脏病理切片 / 8,110x / STEM / 320ns | 巨噬细胞(无反色) / BSE / 3500x / 320ns | 巨噬细胞(反色) / BSE / 3500 / 120ns |
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| Poly层 | M1层 | ||
产品参数
| 关键参数 | 分辨率 | 1.3nm@3 kV，SE ; 1.5nm@1 kV，SE | |
| 1.9nm@ 3 kV, BSE; 2.3nm@ 1 kV, BSE | |||
| 0.9nm@30kV，STEM | |||
| 加速电压 | 100 V~6 kV(减速模式) | ||
| 6 kV~30 kV(非减速模式) | |||
| 放大倍率 | 66~1,000,000x | ||
| 电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 | ||
| 物镜类型 | 浸没式电磁复合物镜 | ||
| 偏转系统 | 静电偏转器 | ||
| 样品装载系统 | 真空系统 | 全自动控制，无油真空系统 | |
| 样品监控 | 样品仓监控水平摄像头； 换样仓监控垂直摄像头 |
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| 样品最大尺寸 | 直径4英寸 | ||
| 样品台 | 类型 | 电机驱动3轴样品台 （*可选配压电驱动样品台） |
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| 行程 | X、Y轴：110mm； Z轴：16mm； |
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| 重复定位精度 | X轴：±0.6μm； Y轴：±0.3μm； |
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| 换样方式 | 全自动控制 | ||
| 换样时间 | ＜15 min | ||
| 换样仓清洗 | 全自动控制等离子清洗系统 | ||
| 图像采集与处理 | 驻点时间 | 10 ns/pixel | |
| 图像采集速度 | 2*100 M pixel/s | ||
| 图像大小 | 24K*24K | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内混合电子探测器 | |
| 选配 | 低角度背散射电子探测器 | ||
| 镜筒内高角度背散射电子探测器 | |||
| 明场透射电子探测器 | |||
| 高角/中角/底角暗场透射电子探测器 | |||
| 压电驱动样品台 | |||
| 高分辨大场模式 | |||
| 样品仓等离子清洗系统 | |||
| 6英寸样品装载系统 | |||
| 主动减震台 | |||
| AI降噪；大图拼接；三维重构 | |||
| 软件 | 语言 | 中文 | |
| 操作系统 | Windows | ||
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | ||
| 自动功能 | 自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 | ||
公司简介
国仪量子的核心技术是以量子精密测量为代表的先进测量技术，为全球范围内企业、政府、研究机构提供以增强型量子传感器为代表的核心关键器件、用于分析测试的科学仪器装备、赋能行业应用的核心技术解决方案等优质的产品和服务。 公司源于中国科学技术大学，实验室在高端科学仪器、关键核心器件的研制领域深耕十余年，多项技术、研究成果突破国际封锁和禁运，并获得 ”中国科学十大进展“” 国家自然科学二等奖“”中国分析测试协会科学技术奖特等奖“等诸多奖项。 公司传承实验室的创新基因与探索精神，为全世界的科技工作者提供探知微观世界的一把尺子，获得”2021年安徽省科学技术奖一等奖“”朱良漪分析仪器创新奖“”安徽省新型研发机构“”安徽省量子精密测量创新中心“”安徽省专精特新冠军企业“等奖项。 公司面向量子科技、材料科学、化学化工、生物医学、工业领域、科学教育、能源勘探等领域，致力于帮助客户更高效地推动技术的发展，探索并创造人类的未来。
如有磁共振系列产品、扫描电镜系列产品、气体吸附系列产品需求，请联系国仪量子，会为您提供最适合您的服务！
刘工：17756583348
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售后服务
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