超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X
基本信息
产品名称：
超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X
英文名称：
国产/进口：
国产
产地/品牌：
国仪量子
型号：
SEM5000X
参考报价：
销售商：
总点击数：
575
更新日期：
2026-03-24
产品类别：
性能参数
SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电镜，电子光学镜筒设计优化，综合像差降低了 30%，从而达到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高稳定性，可在先进纳米结构和纳米材料的研究、高端芯片半导体的研发制造等领域发挥其性能优势。
产品优势
产品参数
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突破性的分辨能力 |  |
机械中心样品台 |  |
*双减速模式 （Duo-Dec） |
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*快速换样仓 （最大8寸） |
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高稳定性 |  |
丰富的扩展能力 |
产品优势
- 超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
- 样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景
- 高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响
- 最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求
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| 介孔二氧化硅/1 kV（Duo-Dec）/lnlens | 阳极氧化铝板 /10 kV/Inlens | 芯片/5 kV/BSED-COMP |
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| 肾脏切片 /5 kV/BSED-COMP | 泡沫镍/2 kV/ETD-SE | 蓝宝石衬底/5 kV/ETD-SE |
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| 金颗粒/1 kV/Inlens | 光刻胶/2 kV/ETD-SE | 磁性粉末/10 kV/Inlens |
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| 二氧化硅球/3 kV/ETD-SE | 催化剂/1 kV/ETD-SE | 波导/1 kV/ETD-SE |
产品参数
| 关键参数 | 分辨率 | 0.6 nm @ 15 kV，SE |
| 1.0 nm @ 1 kV，SE | ||
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ~ 2,500,000 x | |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 摄像头 | 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） |
| 样品台行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm | |
| T: -10°~+70°，R: 360° | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器（Inlens） |
| 仓室内电子探测器（ETD） | ||
| 选配 | 插入式背散射电子探测器（BSED） | |
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | ||
| 低真空二次电子探测器（LVD） | ||
| 能谱仪（EDS） | ||
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 样品交换仓（4寸和8寸可选） | ||
| 轨迹球&旋钮板 | ||
| 双减速技术（Duo-Dec） | ||
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航，轨迹球（选配） | |
| 图像记录 | TIFF、JPG、PNG、BMP等 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
公司简介
国仪量子的核心技术是以量子精密测量为代表的先进测量技术，为全球范围内企业、政府、研究机构提供以增强型量子传感器为代表的核心关键器件、用于分析测试的科学仪器装备、赋能行业应用的核心技术解决方案等优质的产品和服务。 公司源于中国科学技术大学，实验室在高端科学仪器、关键核心器件的研制领域深耕十余年，多项技术、研究成果突破国际封锁和禁运，并获得 ”中国科学十大进展“” 国家自然科学二等奖“”中国分析测试协会科学技术奖特等奖“等诸多奖项。 公司传承实验室的创新基因与探索精神，为全世界的科技工作者提供探知微观世界的一把尺子，获得”2021年安徽省科学技术奖一等奖“”朱良漪分析仪器创新奖“”安徽省新型研发机构“”安徽省量子精密测量创新中心“”安徽省专精特新冠军企业“等奖项。 公司面向量子科技、材料科学、化学化工、生物医学、工业领域、科学教育、能源勘探等领域，致力于帮助客户更高效地推动技术的发展，探索并创造人类的未来。
如有磁共振系列产品、扫描电镜系列产品、气体吸附系列产品需求，请联系国仪量子，会为您提供最适合您的服务！
刘工：17756583348
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