风囊泵-电动风囊泵-高纯电子化学品输送
基本信息
产品名称：
风囊泵-电动风囊泵-高纯电子化学品输送
英文名称：
国产/进口：
国产
产地/品牌：
microdex
型号：
EDA-20N
参考报价：
销售商：
总点击数：
70
更新日期：
2025-08-29
产品类别：
性能参数
Microdex 电动风囊泵（Bellows Pump）也称电动波纹管泵，依靠波纹管往复伸缩调节容积大小来完成吸液和出液，实现高精度的化学分配。电动风囊泵与介质接触的材料为PFA、PTFE,流路不含金属材料，同时无需轴封的设计可以防止液体泄露和外部气体进入。因此，电动风囊泵常被用于半导体湿法制程中腐蚀性化学品和非腐蚀性液体物料的转运、循环和输送，如：光刻胶、纯水、氢氟酸和其他药液。
Microdex EDA系列电动风囊泵（电动波纹管泵）技术已经获得国家专利，
专利号：ZL 2022 2 2710562.8 一种外部接液式电动波纹管输液泵及输液控制系统
电动风囊泵产品用途：
・半导体光刻工序的光刻胶涂覆
・锂离子电池等电池制造工序的电解液注液
・其他液体化学品或液体物料的定量吐出
电动风囊泵特点：
・ 接液部由氟树脂构成，适用于各种药液；
・ 接液部无滑动结构，几乎不因泵的动作产生粒子；
・ 丝杠传动，实现数字化的±1%精度吐出量控制；
・ 无外部气体进入，不易产生电解液结晶化结构；
・ 可实现高精度低脉冲续流流体输送（定制）
产品参数：
| 型号 | EDA-20N |
| 使用流体 | 光刻胶、纯水、药液 |
| 单次行程最大吐出量（ml） | 20 |
| 行程次数（spm） | 1-30 |
| 流量范围（ml/min） | 20-600 |
| 接管口径（mm） | φ6Xφ4 |
| 吐出量精度（%） | ±1% |
| 流路材料 | PTFE、PFA、SiC |
| 最大流体粘度（cP） | 300 |
| 最大吐出压力（MPa） | 0.2 |
公司简介
米景科技（上海）有限公司位于上海自由贸易试验区，公司是致力于供应链管理系统、高校研究所和企业研发部门实验室整体解决方案、研发用科学仪器实施解决方案和专业软件设计和实施解决方案的高科技企业，米景科技管理团队成员具有多年科学仪器跨国企业管理经验，这些经验赋予团队先进的经营理念，技术精益求精的态度，开阔的视野以及对市场需求精准把握。email: microdex@163.com 公司服务于实验室，提供从仪器设备的使用、应用方法的开发、消耗品的供应、软件技术与维修的服务到实验室整体管理等一体化的增值服务给科研人员与实验室工作与管理者。我们以创新为驱动、以服务为导向，统筹公司资源为中国的用户提供整套的实验解决方案，增强客户的应用体验。 公司拥有一批具有丰富经验的专业技术人才，并与国内外科学仪器企业以及科研院所、大专院校、医疗卫生机构和工矿企业等建立了广泛的联盟和用户服务协作关系，形成了畅通的销售网络。 公司坚持以诚信为原则，以客户服务为工作核心，将最适合的产品和服务推介给客户使用，把提高产品与服务竞争力作为公司的最高追求，竭诚希望与广大的客户建立一个长期互赢的合作关系。
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