6KW微波等离子电源 微波等离子电源
基本信息
产品名称：
6KW微波等离子电源 微波等离子电源
英文名称：
国产/进口：
国产
产地/品牌：
care
型号：
cms-006
参考报价：
销售商：
总点击数：
3486
更新日期：
2020-04-20
产品类别：
性能参数
等离子体化学气相沉积6KW微波等离子电源 微波等离子电源
微波等离子体CVD（Microwave PCVD, MPCVD）将微波发生器产生的微波用波导管经隔离器进入反应器，并通入CH4与H2的混合气体，在微波的激励下，在反应室内产生辉光放电，使反应气体的分子离化，产生等离子体，在衬底上沉积得到金刚石膜。
PECVD：是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).可以沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等.
公司简介
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诚意向您推荐-烟台凯尔微波系统有限公司（王丽13853522652）铁矿还原高温炉，领先科技，品质一流。是集工业微波炉研发|生产为一体的民营高科技企业。公司生产的CMS系列微波设备主要产品有：钛精矿微波高温还原,金属粉末微波还原炉,氧化皮微波还原炉,金属氧化皮微波还原设备, 金矿微波脱硫除砷设备还原领域以及铸造发动机行业的水剂涂料表干和水玻璃固化行业和高温实验炉领域。，
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