实验台

TMC用于SEM的主动压电陶瓷隔振平台

基本信息
产品名称:
TMC用于SEM的主动压电陶瓷隔振平台
英文名称:
国产/进口:
进口
产地/品牌:
美国TMC
型号:
SEM-Base VI
参考报价:
总点击数:
2849
更新日期:
2025-01-23
产品类别:

性能参数

SEM-Base® VI是下一代STACIS主动压电消振产品。SEM-Base VI被设计用于支撑所有商用扫描电子显微镜(SEM)以及许多聚焦离子束(FIB)和小型双光束仪器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更强大的控制器和高级图形用户界面(GUI)。SEM-Base VI使许多实验室和设施达到了满足工具制造商规格所需的地面振动水平。 

SEM-Base VI采用独特的“串行结构”,其中的振动传感器测量地面振动,而不是有效载荷振动。与其他设计不同,这确保了有效载荷共振不会限制隔振或造成不稳定。振动传感器是低频惯性速度传感器,在难以测量的亚Hz范围内具有最大灵敏度。结合我们独特的压电致动器技术,SEM-Base VI即使在安静的地面上也能实现极高的消振水平。 

SEM-Base VI可提供与以前型号平均高6 dB的隔振。此外,TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的双核处理器,为工具所有者和研究人员提供了一个非常简单易用的图形界面,可实现快速系统评估和安全操作。通过以太网连接时,DC-2020将在用户的浏览器中创建SEM-Base GUI,无需安装其他软件或应用程序。此外,用户也可以通过板载菜单驱动的液晶显示器(LCD)与控制器连接。 

优点:

硬安装技术 - SEM-Base VI与所有内部SEM振动控制系统兼容,可以从0.6 Hz开始主动减轻低频地面振动。

主动惯性振动消除 - SEM-Base VI使用高灵敏度、低频惯性速度传感器,即使在安静的地面上也能实现高水平的振动衰减。 

采用压电技术的串行设计 - 独特的串行设计和专有的高力压电技术可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90%的卓越惯性主动振动消除性能。

性能规格
主动自由度 6
主动带宽 0.6 Hz - 100 Hz
被动固有频率 标称值为12 Hz
有效的主动共振频率 0.5 Hz
1 Hz时的隔振 40% - 70%
2 Hz时的隔振 90%
≥3 Hz时的隔振 90 - 98%
内部噪音 <0.1 nm RMSd>
工作负载范围 标准承重能力:900 - 2,500磅(408 - 1134千克)
高承重能力:2,500 - 3,200磅(1134 - 1452千克)
磁场发射
4英寸(102毫米)处
距离平台
<0.02 μG broadband RMSd>
设计、尺寸、环境和效用要求
环境和安全 符合CE和RoHS标准
主动隔振元件 最小承重能力为3300磅(1500千克)的压电致动器接收来自高压放大器的信号,其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷
被动隔振元件 单个硬弹性体(无需压缩空气源)
振动传感器元件 向下的地震检波器型惯性传感器,用于
测量隔振器下方的地面振动,并
提供与振动运动速度成正比的电压
主动反馈控制回路 在支撑隔振表面的弹簧
下方测量、处理和
支撑隔离面
尺寸(宽 x 深) 35.25 x 44.25英寸
895 x 1124毫米
高度 标称6.3英寸(160毫米),
SEM-Base关闭时不会改变
工作温度 50° - 90° F
10° - 32° C
储存温度 -40° - 130° F
-40° - 55° C
湿度 80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C
系统电源要求 100、120、230、240 VAC
50/60 Hz AC; <600 W
符合CE标准
地面位移 <800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>
内置控制器规格
处理器 150/75 MHz双核
采样率 10 kHz
模拟输出 16个通道
模拟输入 16个通道
状态灯 单个LED
前面板端口 1个串行USB 2.0
1个串行Micro-USB
1个以太网RJ-45
2个BNC
用户界面 前面板液晶显示屏
超级终端上的字符菜单
适用于Microsoft Windows的扩展GUI
嵌入式以太网GUI
公司简介

森泉光电有限公司是生物器材领域仪器设备代理与系统集成业务的综合性服务商。公司总部设在青岛,在上海和北京设有分公司,业务范围涵盖国内各著名高校和科研院所,以及国内知名企业。主要的生物器材设备是TMC隔震平台及Siskiyou的生命科学机械件。

我们拥有优质的产品,稳定的供货渠道,强大的技术支持和成熟的销售服务经验,可提供诸多生物器材应用解决方案,竭诚为您提供最满意的服务!


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