EBIC电子束感生感应电流分析系统
基本信息
产品名称：
EBIC电子束感生感应电流分析系统
英文名称：
Electron Beam Induced Current (EBIC)
国产/进口：
进口
产地/品牌：
德国/P E
型号：
EBIC
参考报价：
销售商：
总点击数：
2285
更新日期：
2026-04-03
产品类别：
性能参数
尚丰科技向用户提供专业的的电子束感生电流分析系统EBIC
EBIC原理
EBIC应用领域包括但不限于：
1）材料晶格缺陷探测分析，缺陷以黑点和黑线标识出来；
2）P-N结缺陷区域定位；
3）双极电路中导致集电极-发射极漏电电流的收集管路的探测；
4）探测额外连接或者多层掺杂；
5）确定静电放电/电过载（ESD/EOS）导致的失效位置；
6）测量减压层/耗尽层（depletion layer）宽度和少数载流子扩散长度和时间（minority carrier diffusion lengths/lifetimes）
等等。
EBIC图像对于电子-空穴的重新组合非常敏感，因此EBIC技术能够非常有效的对半导体材料缺陷等进行失效分析。
技术优势
展示器件功能和材料性能之间的联系
为透射电镜TEM和原子探针纤维系统制样
获取大面积范围内的连接及缺陷图像
输出经过校正的EBIC信号，用于分析材料性能
通过内置直流偏压及实时覆盖（live overlay）功能确认设备操作模式
运用样品的高度数据，获取样品三维信息
EBIC图片
尚丰科技致力于引进推广先进的材料、生物显微观测及微区分析仪器，向科研人员高附加值服务。
我们拥有一支涉及众多领域高素质的应用支持团队，为各行业的应用需求提供专业的解决方案和售后服务。
敬请联络
电 话：010-62369061 13693309125
Email: sem@ylcorp.com.cn www.ylcorp.com.cn
EBIC原理
当扫描电镜电子束作用于半导体器件时，如果电子束穿透半导体表面，电子束电子与器件材料晶格作用将产生电子与空穴。这些电子和空穴将能较为自由地运动，但如果该位置没有电场作用，它们将很快复合湮灭（发射阴极荧光），若该位置有电场作用（如晶体管或集成电路中的pn结），这些电子与空穴在电场作用下将相互分离。故一旦在pn结的耗尽层或其附近位置产生电子空穴对，空穴将向p型侧移动，电子将向n型侧移动，这样将有一灵敏放大器可检测到的电流通过结区。该电流即为电子束感生电流（EBIC）。由于pn结的耗尽层有最多的多余载流子，故在电场作用下的电子空穴分离会产生最大的电流值，而在其它的地方电流大小将受到扩散长度和扩散寿命的限制，故利用EBIC进行成像可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究。
EBIC应用领域包括但不限于：
1）材料晶格缺陷探测分析，缺陷以黑点和黑线标识出来；
2）P-N结缺陷区域定位；
3）双极电路中导致集电极-发射极漏电电流的收集管路的探测；
4）探测额外连接或者多层掺杂；
5）确定静电放电/电过载（ESD/EOS）导致的失效位置；
6）测量减压层/耗尽层（depletion layer）宽度和少数载流子扩散长度和时间（minority carrier diffusion lengths/lifetimes）
等等。
EBIC图像对于电子-空穴的重新组合非常敏感，因此EBIC技术能够非常有效的对半导体材料缺陷等进行失效分析。
技术优势
展示器件功能和材料性能之间的联系
- 直观显示流经整个设备的电性行为
- 有效区分样品电性主动和被动缺陷
- 展示电性活动和成分（EDS）和晶体结构（EBSD）之间的关联
为透射电镜TEM和原子探针纤维系统制样
- 高空间分辨率条件下，对TEM样品制备中的缺陷进行定位
- 有效避免在FIB电镜中使用EBIC直接获取图像时造成的校正误
- 制样过程中，可通过实时EBIC图像功能随时停止样品研磨
获取大面积范围内的连接及缺陷图像
- Identify all electrically active defects验证所有的电性主动缺陷
- 获取连接和电性区域的图像
- 验证样品掺杂分布图
输出经过校正的EBIC信号，用于分析材料性能
- 测量缺陷部位的对比/重组力学数值
- 提取少数载流子的扩散长度
- 确定淹没区域的宽度
通过内置直流偏压及实时覆盖（live overlay）功能确认设备操作模式
- 通过图像直接显示延迟装置（delayered device）中的节点及区域形貌
- 直接显示太阳能电池中的电子活动图像
- 通过系统模拟功能可直观地通过图像对比样品电学性能
运用样品的高度数据，获取样品三维信息
- 通过调整扫描电镜中电压，获得EBIC信号中的样品高度信息
- 可对FIB电镜中的样品截面EBIC图像进行分析
- 可为样品3D图像重构输出样品高度信息
EBIC图片
尚丰科技致力于引进推广先进的材料、生物显微观测及微区分析仪器，向科研人员高附加值服务。
我们拥有一支涉及众多领域高素质的应用支持团队，为各行业的应用需求提供专业的解决方案和售后服务。
敬请联络
电 话：010-62369061 13693309125
Email: sem@ylcorp.com.cn www.ylcorp.com.cn
公司简介
尚丰科技致力于引进推广先进的材料、生物显微观测及微区分析仪器，向科研人员高附加值服务，促进中国的科学技术发展。
尚丰科技产品包括德国Point Electronic电子束感生电流分析系统EBIC，电子束吸收电流分析系统EBAC-RCI，扫描透射电子束感生电流分析系统STEBIC等，以及德国MICROTEC大型精密切片机等等。
我们拥有一支涉及众多领域高素质的应用支持团队，为各行业的应用需求提供专业的解决方案和售后服务。
尚丰科技产品包括德国Point Electronic电子束感生电流分析系统EBIC，电子束吸收电流分析系统EBAC-RCI，扫描透射电子束感生电流分析系统STEBIC等，以及德国MICROTEC大型精密切片机等等。
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售后服务
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