生物芯片处理

华维纳 纳米激光直写系统

基本信息
产品名称:
华维纳 纳米激光直写系统
英文名称:
国产/进口:
国产
产地/品牌:
中国/华维纳
型号:
LDW-P
参考报价:
总点击数:
783
更新日期:
2026-04-01
产品类别:

性能参数

苏州华维纳纳米科技有限公司:
成立于2011年,公司设有博士后流动站。公司曾先后获得国家科技部(国家重大大科学仪器设备开发专项)和姑苏、江苏省双创人才、以及苏州x-nano大科学装置等项目支持2015年被认定为高新技术企业。 
新型激光直写采用全新的技术路径提高加工分辨率,一举突破突衍射极限的限制,成功实现纳米尺度加工;突破了目前激光直写仅能用于有机光刻胶的现状,可以广泛应用于各种受体材料,极大地扩展了激光直写设备的应用范围。
 

技术性能:
超衍射分辨纳米加工、图片数据直接调制激光脉冲、刻写聚焦光斑小至275nm、刻写网格间距小至75nm、最小刻写尺寸可达50nm
 

适用性:
◆适用掩模加工、结构与器件制备;可选不同尺寸的位移平台;
◆可根据需求灵活改变刻写参数;可配备不同数值孔径与倍率的物镜;
◆适用于无机材料与有机光刻胶
 
原理:激光与材料的非线性相互作用,突破衍射极限的限制在LDW系统中,聚焦激光的非线性能量分布遵循高斯分布。这种分布导致了激光斑点的中心区域和外圈之间的能量差异很大。当聚焦激光束照射一个具有反应阈值的受体薄膜时,通过激光参数的选择可保证只有中心区域内的激光能量能超过材料阈值并产生有效作用,而激光焦斑外围的能量小于材料阈值,无法对材料产生有效作用。这使得激光与材料实际作用的面积大大减小,甚至可以达到衍射极限的几十分之一,从而实现超衍射加工。
 
聚焦光斑对材料的有效作用区域会依照材料的阈值相应变化

主要模块:

强大的控制软件:
计算机内置的LDW-SC控制软件,实现刻写前样品分析,设计图形输入与刻写,完成刻写后的在线分析。

超精密的工件台运动控制:
采用高阶FPGA开发板,控制压电陶瓷平台在全行程进行扫描,从而获得20000*20000像素点的超精细刻写图像。

高精度工件台:
◆分辨率1nm,绝对定位精度小于10nm
◆刻写范围可选:1500*1500、1000*1000、500*500、200*200、100*100μm
◆大行程的手动XY移动台(范围25*25mm,精度0.01mm),实现大尺度样品大范围移动定位。

刻写物镜:
◆大数值孔径:工作距离近,焦深浅,视场小,适用精细刻写
◆小数值孔径:工作距离远,焦深大,视场大,适用快速大面积刻写
 

高精准激光功率控制:
◆功率起伏度小于1%,可实现激光功率的稳定输出及对激光脉冲的快速调控响应。

纳米激光直写系统制作实例:

浮雕型微纳圆光栅和方光栅
 

Ag 纳米薄膜的 SERS 芯片


纳米带阵列


灰度掩模制备菲涅尔玻璃透镜


金属表面微纳结构


有机材料微纳米隧道、高精度微电路电极
 
 
苏州华维纳纳米科技有限公司创始人刘前教授介绍:
博士生导师,中国科学院大学、南开大学教授、苏州纳米所客座研究员。
主要从事新型微纳加工方法、纳米光学与光子学、纳米薄膜与器件、功能纳米材料等领域的研究,作为首席科学家和课题负责人已主持完成科研项目十余个,包括国家973、863、国家重大研究计划、国家基金委重大研究计划项目等。已在Nature Commun.,Nano Letters,JACS, Adv Mater,ACS Nano,Light, OL\OE等学术刊物上发表论文200余篇,出版英文专著(Novel Optical Technologies for Nanofabrication, Springer出版)和译著各一部,获得美、日和中国授权专利以及申请中的国际国内专利30余项,研制成功纳米台阶高度国家一级标准物质5个。现任《现代物理》主编, 十余个中英文杂志的编委,澳大利亚科学研究委员会(ARC)国家基金项目的海外评审专家,2013年度被评为中国科学人材料领域年度个人、爱思唯尔2014年度中国高被引学者等。
公司简介

    杭州谱镭光电技术有限公司(Hangzhou SPL Photonics Co.,Ltd)创立于2008年,经过公司同仁共同的的努力和发展,公司在光谱仪器、激光器系统及配件,生物光学和量子光学等领域和应用有非常多的经验和解决方案,同时也组建了一支专业的销售和服务团队。

    公司秉承专业服务客户为上的目标,一直严格要求,以尽善尽美为工作方向,和客户一起前行。目前公司在光谱仪器和激光检测系统方面有自己的研发能力,开发出了便携式土壤重金属分析仪(LIBS)、便携式红宝石标压系统、显微拉曼测量系统等。同时公司时刻关注全球最新最前沿的技术和产品,目前代理包括微型光纤光谱仪、红外光谱仪,飞秒激光器,纳秒激光器,可调谐激光器,窄线宽激光器,He-Ne激光器等各种激光器和配件。同时代理各类光电检测设备,包括功率计、能量计、光束质量分析系统、脉宽测量探测器和自相关仪、偏振态测量系统。还有代理各类光学配件,包括光学元器件,位移系统,滤波片。

目前公司主要代理品牌如下:

美国海洋光学Ocean Optics:微型光纤光谱仪,光谱系统和配件;

美国CEO:激光二极管,二极管侧泵模块,各类纳秒激光器,激光控制器;

奥地利Montfrot:适用于便携的超紧凑纳秒高能量激光器,大功率皮秒、飞秒激光器;

立陶宛Integrated Optics:超紧凑稳定的半导体和DPSS激光器;

美国Lighthouse:高功率连续固体绿光激光器

美国DataRay: 光束质量分析系统及配件;

德国CarbonVision:高品质碳纤维面包板及定制产品;

丹麦DFM:单频激光器;

德国GRINTECH:自聚焦透镜、生物医学用定制透镜系统;

法国IRISIOME:皮秒可编程调谐激光器;

德国LIOP:超稳定高精度光学调整架及光机械产品;

德国MRC:光束自稳定系统;

立陶宛QLI:高能量紧凑风冷纳秒激光器,可五倍频到213nm;

ProSP:各类定制显微光谱测量系统;

法国Femtoeasy:自相关仪,FROG

德国ALPHALAS:光电探测器

德国BATOP:可饱和吸收体SESAM

德国Schäfter + Kirchhoff:光纤准直器,偏正态测量仪SK010PA-…

美国NOIR:激光防护眼镜

苏格兰Skylark:单频连续激光器;

德国Stuttgart Instruments:频率转换系统,高精度的红外光源,超快高功率锁模飞秒振荡器;

丹麦NLIR:中红外光谱仪,单波长探测器,光源;

立陶宛Litilit:工业级飞秒激光器,飞秒光纤激光器,超短脉冲光纤种子光源;

瑞士Glucoloop:中红外纳秒激光器,高能中红外纳秒激光器;

加拿大DAYY:单通道超发光二极管光源,多通道超发光二极管光源,放大自发辐射光源,宽带可调谐外腔激光器。


售后服务
相关视频
暂无

资料下载
暂无
联系方式
单位名称:
详细地址:
浙江省杭州市西湖区塘苗路18号华星现代产业园D座301室
qq:
941106942
联系电话:

0571-88077926;17774014546;18058745576

Email:

在线询价
*姓名:
*单位:
职位:
*手机:
*邮箱:
地址:
*地区:
资料:
需要
不需要
报价:
需要
不需要
留言:
验证码:
我希望获得多家供应商报价
首页 我的账户 立即询价 电话咨询