等离子清洗机
| 型号 | PC-5S | PC-5S13 | PC-5D | PC-5D13 |
| 射频电源 | 40KHZ | 13.56MHZ | 40KHZ | 13.56MHZ |
| 射频电源功率 | 0-200W | 0-150W | 0-200W | 0-150W |
| 匹配器 | 无 | 自动匹配 | 无 | 自动匹配 |
| 激发方式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 |
| 舱体容积 | 5L | 5L | 5L | 5L |
| 舱体尺寸 | D245mm*ø155mm | D245mm*ø155mm | D245mm*ø155mm | D245mm*ø155mm |
| 舱体材质 | 不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 |
| 载物板尺寸 | L245mm*W155mm | L245mm*W155mm | L245mm*W155mm | L245mm*W155mm |
| HEPA高效过滤器 | 最小过滤0.22um | 最小过滤0.22um | 最小过滤0.22um | 最小过滤0.22um |
| 气体控制 | 单浮子流量计可选质量流量计(MFC) | 单浮子流量计可选质量流量计(MFC) | 双浮子流量计可选质量流量计(MFC) | 双浮子流量计可选质量流量计(MFC) |
| 气体压力稳定时间 | 60s | 60s | 60s | 60s |
| 工作时间设定 | 1秒-99分59秒可调 | 1秒-99分59秒可调 | 1秒-99分59秒可调 | 1秒-99分59秒可调 |
| 真空度 | 100par | 100par | 100par | 100par |
| 真空泵 | 抽速8m³/h | 抽速8m³/h | 抽速8m³/h | 抽速8m³/h |
| 电源 | AC220v5060HZ | AC220v5060HZ | AC220v5060HZ | AC220v5060HZ |
| 产品尺寸 | L41*W38*H50cm | L41*W38*H50cm | L41*W38*H50cm | L41*W38*H50cm |
| 包装尺寸 | L49*W46*H58cm | L49*W46*H58cm | L49*W46*H58cm | L49*W46*H58cm |
| 整机净重 | 18kg | 32kg | 18kg | 32kg |


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