XE-100旗舰通用型原子力显微镜
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产品介绍: |
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Park Systems XE-100 原子力显微镜
XE-100是Park Systems的旗舰产品。该产品可以实现精确的纳米计量和无损检测。新增的多区域自动扫描功能,更是极大的提高了检测效率。该系统可广泛的应用于材料科学、聚合物、电化学等诸多领域。近年来,Raman HR-800和XE-100的联合系统更是帮助VLSI开拓出了对100纳米以下硅微结构进行机械性能分析的新天地。
技术参数(机械部分):
1. XY扫描器:50µm×50µm(闭环),可选配100µm×100 µm(闭环) 2. Z扫描器:12µm (可选配25µm) 3. 水平度:50µm线扫描垂直偏差不超过1nm 4. XY和Z扫描器的正交性:1.0o 5. 样品台移动范围:25mm×25mm(X/Y),27.5mm (Z) 6. 样品尺寸:100mm×100mm 7. 光学观察:垂直光路设计,可直接观察微悬臂和样品 技术参数(电子部分)
1. 微处理器:600MHz,4800MIPS DSP 2. 模数/数模:16位,500kHz采样频率 3. 图像采集:同步自动采集16幅图像,分辨率高达4096×4096像素 4. 通讯方式:采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接 5. 符合CE认证标准 标准工作模式:
1. 真正非接触模式(True non-contact mode) 2. 接触模式(contact mode) 3. 相位模式(phase imaging) 4. 横向力模式(LFM) 扩展工作模式:
1. 力测量(Force measurements) 2. 导电(Conductive AFM) 3. 电力(Electric Force) 4. 电子 (Electrical) 5. 磁性 (Magnetical) 6. 机械 (Mechanical) 7. 热 (Thermal) 主要特点: 一、 计量精确 XE系列AFM彻底消除了球面误差,因而具备了实现精确纳米计量的能力。 二、 扫描器线形度高,直角正交 XE系列AFM采用了柔性扫描器最大限度减小了X和Y扫描运动的交叉耦合,并且通过位移传感器及时进行反馈控制,这就有效保证了扫描的准确度和精度。 三、 非接触式扫描 可真正实现非接触式扫描是Park AFM最显著的技术优势。采用这一模式扫描时,针尖和样品间距可以保持在几个纳米,在避免针尖磨损的同时提高了成像质量。 四、 CrN样品测试结果 CrN样品具有点状尖锐的特点,是常用的AFM探针性能测试样品。如采用轻敲模式进行扫描,10次后图像质量就因针尖磨损而明显下降。在非接触扫描实验中,扫描100次后图像细节依然清晰,证明针尖没有受到损伤。 |
天美集团从事分析仪器、生命科学设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销;为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案。近年来天美集团积极拓展国际市场,先后在新加坡、印度、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国Froilabo公司、瑞士Precisa公司、英国Edinburgh Instruments公司等多家海外知名生产企业和布鲁克公司Scion气相、气质及Tekmar顶空产品线,以及上海精科公司天平产品线, 三科等国内制造企业,2021年控股了英国同位素质谱公司(Isotopx),加强了公司产品的多样化。
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