步进电机驱动工作台是实现精密位移自动控制的基本部件,基精密滚动导轨和传动件系采用日本THK公司产品。
一、一维步进平移台
行程 台面尺寸 步进量 移动精度 负荷重 移动速度
±15~±100 70×70~200×200 1μ~5μ 3μ~5μ 20kg~50kg (20~10)mm/sec
行程 台面尺寸 步进量 移动精度 负荷重 移动速度
±10~±60 60~200 1μ~5μ 3μ~5μ (10~30)kg (20~10)mm/sec
二、二维步进平移台
三、步进转台
转动范围 台面尺寸 步进量 回转精度 负荷重 移动速度
360° Φ90~Φ200 0.001°~0.01° 0.005~0.01 (5~20)kg 50°/sec~10°/sec
四、步进双层转台
双层转台由上下两个转台组成,同绕一个中心轴回转,可用来做偏光仪,分光仪的基体。
上转台转动范围 下转台转动范围 台面尺寸 回转精度 负荷重 步进量
360° 180° Φ120~Φ200 0.005~0.01 (5~20)kg 0.001°~0.01°
五、步进倾斜台
倾斜范围 台面尺寸 步进量 转动速度 负荷重
±20° 70~120 0.01°~0.005° 20°/sec~40°/sec (2~5)kg
六、步进电机驱动控制器
步进电机驱动控制器内装开关电源、驱动器、具有细分功能,设计有串行口,可实现计算机控制。
控制器有座标值设定,速度设定、方向设定、驱动、点动、复零、停止等功能。