其他显微系统

超高分辨率的电子束光刻 CABL-UH 系列

基本信息
产品名称：
超高分辨率的电子束光刻 CABL-UH 系列
英文名称：
超高分辨率的电子束光刻 CABL-UH 系列
国产/进口：
进口
产地/品牌：
日本CRESTEC
型号：
超高分辨率的电子束光刻 CABL-UH
参考报价：
销售商：
上海银雀电子科技发展有限公司
总点击数：
4448
更新日期：
2026-04-01
产品类别：
其他显微系统
性能参数
超高分辨率的电子束光刻 CABL-UH 系列的型号包括：
CABL-UH90 (90keV) 、CABL-UH110 (110keV) 、CABL-UH130 (130keV)
 
技术参数：
加速电压：最高 130keV
单段加速能力达到 130keV，尽量减少电子枪的长度超短电子枪长度，无微放电
电子束直径＜1.6nm 最小线宽＜7nm
双热控制，实现超稳定直写能力
 
公司简介
上海银雀科技成立于 1998 年，成立以来一直专注于半导体工艺设备、微纳米加工平台等领域的设备集成供应和技术服务。MEMS、3D 封装、化合物半导体、微波器件、功率器件等众多领域。目前公司已经与众多微电子、半导体设备行业的国际知名企业建立了良好的合作关系；EVG（光刻、键合）、Bruker（微纳检测）、TESCAN（扫描电镜） 是其中几家重要的合作伙伴。
售后服务
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联系方式
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详细地址：
上海市嘉定工业区叶城路
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1255610068
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