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超高分辨率的电子束光刻 CABL-UH 系列

基本信息
产品名称:
超高分辨率的电子束光刻 CABL-UH 系列
英文名称:
超高分辨率的电子束光刻 CABL-UH 系列
国产/进口:
进口
产地/品牌:
日本CRESTEC
型号:
超高分辨率的电子束光刻 CABL-UH
参考报价:
总点击数:
4448
更新日期:
2026-04-01
产品类别:

性能参数
超高分辨率的电子束光刻 CABL-UH 系列的型号包括:
CABL-UH90 (90keV) CABL-UH110 (110keV) CABL-UH130 (130keV)
 
技术参数:
加速电压:最高 130keV
单段加速能力达到 130keV,尽量减少电子枪的长度超短电子枪长度,无微放电
电子束直径<1.6nm 最小线宽<7nm
双热控制,实现超稳定直写能力
 
公司简介
上海银雀科技成立于 1998 年,成立以来一直专注于半导体工艺设备、微纳米加工平台等领域的设备集成供应和技术服务。MEMS、3D 封装、化合物半导体、微波器件、功率器件等众多领域。目前公司已经与众多微电子、半导体设备行业的国际知名企业建立了良好的合作关系;EVG(光刻、键合)、Bruker(微纳检测)、TESCAN(扫描电镜) 是其中几家重要的合作伙伴。

售后服务
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联系方式
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详细地址:
上海市嘉定工业区叶城路
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1255610068
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