磁场成像显微镜系统
Magma磁场成像显微镜系统（简称Magma）是Neocera Magma公司研发的一种新型半导体失效分析工具。它拥有一套独特的传感器和技术，可以检测和定位所有静态缺陷。
Magma具有极大的可靠性，适用于探测开路、短路、漏电和高电阻开路的位置。此外，磁场成像可用于生成3D故障分析的深度信息，甚至可以用于多层器件。
在半导体失效分析领域，Magma可以定位微电子系统中的所有静态缺陷（短路、漏电和开路）。它可以容纳Die-level互连的300毫米晶圆、封装的PC板、以及所有类型的封装器件，包括各种具有异质集成的多芯片模块器件、叠层器件、3DICs和SiP。
新型平台的设计使用了终端用户的输入，以提供用户友好型的设置和操作，以及更高的工作量和更低的运营成本。
基础配置：配备高灵敏度的SQUID传感器，用于低电流、无损检测短路、漏电和高电阻开路。可实现低成本定位，用于检测封装器件和PC板中的短路及漏电。
EFI工具：能够以极高的精确度检测失效的开路故障。
HiRes工具：将两个传感器组合成一个工具。在靠近电流扫描时，SQUID传感器用于检测尽可能最小的电流，磁阻传感器用于获得较好的空间分辨率。因此，其具有两方面的优点：空间定位和灵敏度。
技术参数
| 特点 | 详情 |
| SQUID 传感器 | |
| 短路缺陷定位 (SQUID) | 3um |
| 空间分辨率 (SQUID) | 2um |
| 总扫描面积 (SQUID) | At least 100mm by 100mm |
当前灵敏度 (SQUID) |
· 500nA @ 333um · 1.5uA @ 1000um |
| 磁敏感性 (SQUID) | 15 pT/√Hz Typical |
| 成像深度(SQUID) | 10mm |
| 工作频率 (SQUID) | DC to 25kHz |
| Opens 断路 | |
| 断路缺陷定位 (SDR) | 30um |
| 成像深度 (Opens) | <500um |
| 工作频率 (Opens) | 20MHz to 200MHz |
| 其他参数 | |
| 功能发电机 | ±10V @ 100mA |
| 功能发电机频率 | DC to 200kHz |
| 镜头分辨率 | 2um (in NIR or Visible) |
电源 |
· 110 - 120V @ 20A · 220 - 240V@ 10A |
| 操作系统 | Windows 10 64-bi |
应用领域
1、该仪器可以完整的包检测静态缺陷(短路，泄漏，高电阻断路)或PC板水平(模具水平缺陷)。EFI系统扩展了SSM系统的功能，增加了一种SDR技术。这种技术使用设备内部的射频(RF)驻波来定位从PC板到堆叠设备和多芯片模块的设备中的缺陷。
2、Magma EFI还具备了Magma SSM工具的功能。Magma EFI工具利用一种超导量子干涉装置(SQUID)来检测只需要纳安培电流的设备中的电流。这些电流被组合成一幅图像，可与光学基准和设计数据一起用于定位三维静态缺陷。
3、这种成像是无损的。由于在典型设备中使用的大多数材料都有磁场渗透，所以不需要对设备进行任何方式的反处理就可以开始定位故障。此外，使用电流可以保护被测设备免受进一步的损坏，并且可能是在尝试检测具有非常高电阻(100k ω)的电路故障时的选择。可以用EFI工具分析的典型故障包括短路、泄漏、电阻断路。该系统可用于成像交流和直流磁场(同样，电流)取决于设备的要求。
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