[福运莱]化学隔膜泵FH-12C实验室光伏半导体
一、产品介绍:
FH-12C专为腐蚀性气体抽空设计的四级化学隔膜泵。FH-12C具有独立八个泵头作为抽力的来源,同时具有抽气速度大和达1.5mbar的超高极限真空的优点。所有与被抽气体接触部件均由耐酸碱的铁氟龙材料制造,具的较强的化学耐腐蚀性和蒸汽耐受性。使用PTFE “三明治”夹层结构的膜片增强了其可靠性和延长了其操作寿命。
FH-12C配备气镇口,在使用气镇时极限真空仍然能达到2mbar,气镇口除了作气镇使用,还可以用来输入惰性气体清洗腔室、膜片、阀片等,有效提升易损件的使用寿命;
FH-12C控制系统采用自主研发的高灵敏度的PID控制器和变频器进行控制,可实现精准的压力控制,控制精度达到0.1mbar;变频器工作时非常安静且根据过程需要可实时调节转速,因此极大地降低了能量消耗和维护需求
控制器使用大尺寸的电阻触摸屏, 具有友好、简单易懂的操作画面。具备以太网口通讯接口和RS32通讯接口。
FH-12C使用的是电容式陶瓷薄膜传感器,这种测试方法不依赖于气体种类,且具有出色的耐化学腐蚀能力。
二、性能特性
适用环境:抽取化学腐蚀性的气体或蒸汽
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详细地址:
广东省东莞市虎门镇沙角鸿兴路6号
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qq:
478822413
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