产品简介:
1.高达0.13µm的超高分辨率;
2.以含有宽幅波长的水银氙灯为光源,并提取五个波长使用的扫描型共聚焦显微镜;
3.根据试样观察、测定的需要,从五个波长中选择最合适的波长进行扫描,避免单色光照明受试样色彩影响导致分辨率降低;
4.能够透过膜层观察多层构造、彩色3维结构、内部构造图像;
5.进行高度测定、形状测定、粗糙度测定等等;
6.通过130万画素的RGB三种画面的合成,获得真实色高精细彩色画面。
技术参数:
波长 405nm(紫t)、436nm(蓝)、546nm(绿)、577nm(黄)、630nm(红)
五种波长可任意选择
分辨率 0.13µm *1
XY线宽测定 最小测量单位 0.001µm
测量重复精度(3σ) 0.02µm *2
高度测定 最小测量单位 0.01µm
测量重复精度(σ) 0.03µm *3
图像显示分辨率 1280(H)×1024(V)×8bit×RGB
形状测量 1280(H)×1024(V)×16bit
桢速 7.5Hz(高精密模式) 15 Hz(非共聚焦模式)
高速成像模式 110Hz (线网模式下)
高度测量范围 15mm
Z轴记数器位数 24位
Z轴移动 75mm(手动测量) 15mm(电动测量)
X-Y台 6英寸手动(电动台可选)
放大倍数/视场/像素分辨率 物镜放大倍数 在20.1英寸显示器上放大倍数 视场 像素分辨率
10× 230× 1420×1140µm 1.1µm
20× 460× 710×570µm 0.55µm
50× 1150× 284×228µm 0.22µm
100× 2300× 142×114µm 0.11µm
图像处理软件 表面形状测定(平均段差测定、R测定、膜厚测定、角度测定)、表面粗糙度测定、线宽测定、形状测定、片段衔接功能、颜色分离、扩张子机能同时变换功能、焦点合成、自动2值化、自动对比度修正、自动水平修正、轮廓图、图像数据库、模块化功能。
多层观察、多层3D成像功能。
非破坏多层断面结构显示、测定。
高度、面积、体积、半径、直径、圆周长、比率测定等。
功率 电源AC100V 50/60Hz、 6A(Max.) 可配AC220稳压电源
尺寸 330(W)×474(D)×520(H)mm 显微镜主体
180(W)×422(D)×410(H)mm 控制器主体
重量 大约30Kg 显微镜主体
大约10Kg 控制器主体