真空等离子清洗机
◆ 外形尺寸
570(W)×420(D)×740(H)mm
290(W)×290(H)×360(D)mm
250(W) ×300(D) mm,5层
RIE or PE模式转换
频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配
可选择40KHZ中频等离子发生器(0-500W)
触摸屏(7寸)+PLC单步法全自动控制 ,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,
性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
德国莱宝(Leybold)真空泵 D30C (37m3/h)
进口气动角阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器
PID闭环自动稳压控制
2路工艺气体+1路氮气配置,电子质量流量计、针阀,美国飞托克(FITOK)气体管路
0535-8236617