超声波清洗

等离子去光阻机

基本信息
产品名称:
等离子去光阻机
英文名称:
国产/进口:
国产
产地/品牌:
戈德尔
型号:
GDR-60G
参考报价:
总点击数:
513
更新日期:
2018-06-27
产品类别:

性能参数

 

◆ 设备外形尺寸(不包括报警灯)

 

   650(W)×900(D)×1600(H)mm

 

 ◆ 合金铝真空仓体(约100升)

 

   450(W)×450(D)×450(H)mm

 

 ◆ 电极结构

 

   外置电感耦合电极

 

 ◆ 等离子发生器(美国MKS)

 

   频率13.56MHZ,功率0-1000W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

 

 ◆ 控制系统

 

   PLC触摸屏控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

 

 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)

 

   日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S)

 

   台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康压力传感器

 

 
 ◆ 充气系统

 

   美国MKS高精度电子质量流量计(四路气体配制)

 

   美国世伟洛克SWAGELOK气体管路及接口组件,德国双级减压阀

 

   日本SMC及CKD高真空气阀组件

 

 
公司简介
烟台金鹰科技有限公司成立于1995年,是专业从事真空及大气低温等离子体(电浆)技术、射频及微波等离子体技术研发、推广、销售于一体的高新技术企业,隶属于戈德尔等离子科技(香港)控股有限公司,总部设于香港。

售后服务
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山东省招远市经济技术开发区招金路518号
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