太阳能电池等离子刻蚀机
◆ 外形尺寸(不包括报警灯)
1350(W)×800(D)×1750(H)mm 500(W)×500(D)×500(H)mm Φ 400mm ,转速可调节 频率13.56MHZ,功率0-1250W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作 触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式 前级泵/ 英国爱德华爪式干泵 GV80 二级泵/ 英国爱德华罗茨泵 EH250(70L/S) 美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器 台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管
美国MKS高精度电子质量流量计(四路气体配制)
美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀 日本SMC及CKD高真空气阀组件