卷材真空等离子处理系统
◆ 外形尺寸(不包括报警灯)
1903(W)×980(D)×2075(H)mm 600(W)×840(D)×800(H)mm 材料直径:最大400mm ,材料宽度:100mm 频率13.56MHZ,功率0-2500W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作 触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式 日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S) x2台(前级泵可选配爱德华干泵) 英国爱德华罗茨泵 EH1000(280L/S) 台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康高精度真空计、传感器
美国MKS高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀
美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀 日本SMC及CKD高真空气阀组件