美国IST Repellix 表面改性设备
美国IST(Integrated Surface Technologies)-表面改性及防水设备
典型应用:
表面改性
DNA微阵列
生物兼容性改性
亲水 μ流体薄膜
疏水保护薄膜
提高表面粘附性
无机氧化物原子沉积
MEMS抗粘合层
半导体制造和封装涂层
控制:
PC精密控制,形成单分子层,可设置连续或交替进行。
灵活的控制系统,允许自行设计工艺,形成特色纳米结构。
同一设备更换不同单体可完成不同工艺。
优势:
灵活的工艺步骤
自然沉积,均匀性极高
重复性好
低成本
适用大批量生产
配置:
腔体大小:317.5×243.84×254 mm
运行真空度:10 torr(100℃)
腔室温度:85℃
设备大小:1016×965.2×914.4 mm
回充气体:N2 或CDA (5.5 bar)
PC控制
多达32,000可编程步骤
•目前哲勤科技分为真空、质谱、等离子体三个部门。
•等离子体部门代理PVA TePla公司各种等离子体设备,包括常压等离子体设备、射频等离子体设备、微波等离子体设备。
•真空部门主要为客户提供各种定制化的非标准真空仪器设备及代理销售各种真空泵、低温泵。
•质谱部门主要提供源于原瑞士巴尔采司技术的全系列的四极质谱仪,包括真空残余气体分析仪、高级分析四极质谱仪、小型在线四级质谱仪工业离线和在线四极质谱仪以及实验室用四极质谱仪。