低温等离子活化系统
基本信息
产品名称：
低温等离子活化系统
英文名称：
国产/进口：
进口
产地/品牌：
PVA TePla
型号：
IoN
参考报价：
销售商：
总点击数：
428
更新日期：
2021-02-20
产品类别：
性能参数
低温等离子活化系统
适用于化合物半导体、MEMS晶圆、有机聚合物、铟/金/铜等金属表面及高级衬底键合前的低温等离子体活化系统。常见键合材料
硅Si/玻璃/Si3N4/Ge/GaAs/GaP/InP/In/PMMA/环烯烃聚合物COP
特点：
表面低温等离子活化
适用于任何材质晶圆及先进封装技术
无需湿法工艺，无污染
高键合强度
材料兼容性好
可处理铟等活性金属材料
设备参数：
晶圆尺寸：2-12寸标准晶圆、方形/异形片
工艺气体：标配2路，可扩展至8路
离子源：20-100kHz/400KHz/13.56MHz/2.45GHz可选
保护性气体回填功能
装载方式：手动、自动
选配：
晶圆夹具
腔体内键合系统
扩展气体功能
温度控制/监控功能
公司简介
•哲勤公司成立于2003年,是一家专业从事真空技术及相关仪器设备研制、开发、生产和贸易为一体的综合性企业。目前，哲勤科技拥有技术人员21人，专业售后服务人员7人，并在北京、上海、广州设有办公室和备品库，可为客户提供专业及时的售前和售后服务。
•目前哲勤科技分为真空、质谱、等离子体三个部门。
•等离子体部门代理PVA TePla公司各种等离子体设备，包括常压等离子体设备、射频等离子体设备、微波等离子体设备。
•真空部门主要为客户提供各种定制化的非标准真空仪器设备及代理销售各种真空泵、低温泵。
•质谱部门主要提供源于原瑞士巴尔采司技术的全系列的四极质谱仪，包括真空残余气体分析仪、高级分析四极质谱仪、小型在线四级质谱仪工业离线和在线四极质谱仪以及实验室用四极质谱仪。
售后服务
可对等离子体设备、真空设备、质谱仪提供：
1、24小时电话响应
2、3个工作日到达现场
3、备品备件
4、维护保养
5、设备培训
6、软件更新及远程技术支持
7、产品升级
8、系统重装
9、工艺研发
相关视频
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资料下载
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