维意真空等离子增强化学气相沉积镀膜设备
*** PE-CVD结构特点介绍：
1、PECVD系列真空管式高温烧结炉如图所示,集控制系统与炉膛为一体；
2、炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料，采用进口高温合金电阻丝为加热元件；
3、高纯石英管横穿于炉体中间作为的炉膛，炉管两端用不锈钢法兰密封，工件式样在管中加热，加热元件
与炉管平行，均匀地分布在炉管外，有效的保证了温场的均匀性；
- 测温采用性能稳定，长寿命的“K”型热电偶，以提高控温的精准性；
- 它是专为高等院校﹑科研院所及工矿企业对金属，非金属及其它化和物材料在气氛或真空状态下进行烧
结﹑融化﹑分析而研制的专用设备；
- MPECVD系列真空管式炉能够快速开启，快速升降温，方便客户对特殊材料的装载，烧制和观察；
- 炉体的控制面板配有触摸屏，控制电源开关，配有电源和保险指示灯，以便随时观察本系统的工作状态。
该系列PECVD系统具有固态等离子源、分开式反应气体进气系统，动态衬底温控，全面控制真空系统，采用集中现场控制总线技术的“值守精灵”控制软件，以及友好用户操作界面来操作。适用于室温至1400℃条件下进行的SiO2、SiNx,、 SiONx a-Si薄膜的沉积，同时可实现TEOS源沉积，SiC膜层沉积以及液态或气态源沉积其它材料，尤其适合于有机材料上高效保护层膜和特定温度下无损伤钝化膜的沉积。
*** 主要特点：
Ø 清洗镀膜一气呵成，杜绝二次污染；
Ø 上开启结构，式样观察方便；
Ø 触屏人机对话整体性操作，安全可靠；;
Ø 产品采用全自动控制方式，触摸屏，数字化显示。
Ø 真空系统、工作压强、电源系统及自动匹配、工艺气体流量、加热系统、运动系统、工艺过程、系统监控及数据采集等
公司名称（现用名）：北京维意真空技术应用有限责任公司
公司名称（曾用名）：北京科立方真空技术应用有限公司
覆盖区域：北京、天津、河北
北京维意真空技术应用有限责任公司，原名北京科立方真空技术应用有限公司，创立于2013年，位于中国·首都北京密云经济技术开发区，主体经营分为真空配件销售、真空设备定制、浅蓝纳米科技三个部分，是北京从事真空产品设计、制造、销售、维修、保养于一体的专业性的公司，公司拥有一支专业、优秀的产品技术工程师和维修技术工程师，具有丰富的行业经验，同时还与北京工业大学联合研发等离子体增强化学气相沉积系统，与北京交通大学联合研发原子层沉积系统，满足高校、研究所的教学、科研使用，同时减少相关进口设备的市场占有率，并力争创造外汇，打出中国创造的名牌！
我们的客户遍布北京各高校和研究院所、部分军工单位和电力试验所、各级的材料、物理、化学、纳米等研究领域尖端的实验室，期待您就是我们的下一位客户、朋友！
您的满意微笑是我们一直努力追求的经营目标！
技术创新、业务专业、服务诚信是我们一直遵循的经营理念！
我们热诚欢迎国内外先进的仪器制造商及科学工作者与我们联系开展各层面的合作,打造成一流的真空系统产品、等离子体增强化学气相沉积系统和原子层沉积系统供应商。
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