1200℃低真空CVD系统
一、产品简介
1200℃低真空CVD系统是由滑动式管式实验电炉，混气系统，真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃，通过滑动炉体来实现快速的升降温；配置不同的真空系统来达到理想的真空度；同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。是为石墨烯生长、研发的专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。
二、主要技术参数：
|
炉体结构 |
整机采用SUS304不锈钢材质，流线型外观，断热式结构； 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好 炉子底部装有一对滑轨，移动平稳 炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却 支撑两端安装油压缓冲器 炉盖可开启，可以实时观察加热的物料 |
|
电源 |
电压：AC220V 50/60Hz；功率：4KW |
|
炉管 |
高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小 尺寸：Φ60*1200mm |
|
法兰及支撑 |
SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空 一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷 可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑 包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合 |
|
加热系统 |
加热元件采用优质合金丝0Cr27Al7Mo2，表面负荷高、经久耐用 加热区长度：300mm 恒温区长度：150mm 工作温度：≤1150℃ 最高温度：1200℃ 升温速率：10℃/min |
|
温控系统 |
日本富士仪表，64段控温程序，可分步、分段 测温元件：N型热电偶 恒温精度：±1℃ |
|
混气系统 |
三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制 内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀 管路采用不锈钢管，接口为Φ6卡套 每路气体进气管路配有不锈钢针阀 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量 流量规格：0~1SLM 流量精度：±1.5% |
上海煜志机电设备有限公司是一家专注于新材料、新能源全套设备研发生产销售一体的高科技企业，公司提供从“研磨、分散、混合、均质、乳化——干燥——成型——高温烧结——切磨抛——测试”一条龙服务，为你的材料实验室量身定制全面的解决方案，同时我们可根据您的工艺要求，将您的科研成果同步放大，真正实现实验室到批量生产的无缝对接。公司拥有多名高级顾问，均来自国内外顶级科研单位和高等学府，其中材料方向3人，化工方向2人，新能源方向1人，机械自动化方向2人，为公司的发展有效的提供了智力支持和技术保障。
公司主要产品有：研磨、混合、分散设备（球磨机、破碎机、真空均质乳化机、超高压均质机）；干燥设备（冷冻干燥机、喷雾干燥机、真空干燥机、流化床干燥机）；成型设备（压片机等）；高温烧结设备（箱式炉、管式炉、CVD系统、真空烧结炉、及各种非标加热炉）；切、磨、抛设备（切割机、研磨机、抛光机）；测试设备（硬度计、金相设备、显微镜等）。新材料、新能源整套解决方案有：石墨烯、碳纳米管批量生产线；新型熔盐制备、加料及物性分析系统。
公司坐落在上海市嘉定工业园区，占地面积超10亩，交通便利，沈海高速朱桥出口即到。“致力创新、助力科研”，我们愿为新材料、新能源的发展做出我们一点微薄的贡献。
“煜耀东方、志在千里”，上海煜志机电设备有限公司全体员工期待您的光临！
| 单位名称： |
|
详细地址：
上海市嘉定区朱戴路900号
|
|
qq：
517370408
|
|
联系电话：
021-39968011
|
| Email： |
