半自动晶圆探针台
基本信息
产品名称：
半自动晶圆探针台
英文名称：
国产/进口：
国产
产地/品牌：
SEMISHARE
型号：
SX-12
参考报价：
销售商：
总点击数：
8443
更新日期：
2023-03-30
产品类别：
性能参数
| SX系列半自动晶圆探针台 | ||||
| 型号 | SX-6 | SX-8 | SX-12 | |
| 外形（W*D*H） | 1000mm*1400mm*1400mm | 1100mm*1500mm*1400mm | 1200mm*1600mm*1400mm | |
| 重量 | 约1000KG | 约1150KG | 约1350KG | |
| 电力需求 | AC220V，50~60Hz | |||
| CDA需求 | 0.4~0.8Mpa | |||
| Chuck | 尺寸 | 6″ | 8″ | 12″ |
| X-Y轴行程 | 200mm*300mm | 250mm*400mm | 350mm*500mm | |
| X-Y轴移动解析度 | 0.1μm | |||
| X-Y轴重定位精度 | ≤±1μm | |||
| X-Y移动速度 | ≥70mm/sec | |||
| Z轴行程 | 20mm | |||
| Z轴移动解析度 | 0.1μm | |||
| Z轴重定位精度 | ≤±1μm | |||
| Z轴移动速度 | ≥20mm/sec | |||
| Theta角度行程 | ±10° | Theta角度解析度 | 0.0001° | |
| 样品固定方式 | 多孔真空吸附，独立分开控制 | |||
| 更换样品方式 | Chuck快速拉出 | |||
| 结构 | 三轴超低噪声设计，镀金，电学独立悬空（chuck可作为背电极） | |||
| 针座平台 | 规格 | O型平台，最多可放置12个针座（不安装八角盒时） | ||
| 显微镜X-Y-Z | X-Y轴行程 | 2″* 2″ | ||
| X-Y轴移动解析度 | 0.1μm | |||
| X-Y轴重定位精度 | ≤±2μm | |||
| X-Y移动速度 | ≥10mm/sec | |||
| Z轴行程 | 5″ | |||
| Z轴移动解析度 | 0.1μm | |||
| Z轴重定位精度 | ≤±1μm | |||
| Z轴移动速度 | ≥10mm/sec | |||
| 显微镜 | 变倍显微镜 | 15：1三档变倍显微镜，可同时显示低倍和中倍/高倍画面，便于点针操作 | ||
| 相机 | 双相机（200W或者500W 工业级数字相机） | |||
| 点针规格 | 点针精度 | 10μm / 2μm / 0.7μm | ||
| X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
| 漏电精度 | 10pA / 100fA / 10fA | |||
| 接口形式 | 香蕉头/同轴 /三轴/ SMA /SHV等 | |||
| 固定方式 | 磁力吸附 / 真空吸附 | |||
| 温控组件 | 温度范围 | ﹣60℃-200℃（标准） | ||
| 温控稳定性 | ±0.1℃ | |||
| 温控分辨率 | 0.01℃ | |||
| 升温时间 （12″卡盘） |
﹣60℃至+25℃≤15分钟 +25℃至+200℃≤25分钟 |
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| 降温时间 （12″卡盘） |
﹢200℃至+25℃≤30分钟 ﹢25℃ 至-60℃≤50分钟 |
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| 噪声 | ＜50dB | |||
| 加热方式 | 低压直流加热/PID控制 | |||
| 制冷方式 | 压缩机制冷 | |||
| 减震 | 减震方式 | 空气薄膜减震系统，确保2000X放大时画面不抖动 | ||
| 震动抑制 | 在运动过程中以及起始或者停止时能够极快的速度保证设备的平稳≤1S，提高测试效率。 | |||
| 系统屏蔽 | EMI屏蔽 | > 30 dB (typical) @ 1 kHz to 1 MHz | ||
| 光衰减 | ≥ 130 dB | |||
| 光谱噪声基底 | ≤ -180 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz) | |||
| 系统交流噪声 | ≤ 5 mVp-p (≤ 1 GHz) | |||
| 软件功能 | 自动测量和补偿Wafer高度 | 可对仪表的输入输出参数进行管理编程 | 可实时显示测试结果 | |
| 自动align，校准晶圆校水平 | 可对测试结果进行bin值划分，判断器件好坏 | 器件测试应用独立升级 | ||
| 自动测量Die size及生成map图 | 多系统集成迅速完成，可支持单点或连续测试 | 强大的数据储存能力以及数据处理能力 | ||
| 任意wafer map 编辑 | 支持Z，N形等测试 | 自动保存数据以及数据曲线，且数据可远程访问 | ||
| 差异数据的标定Ink mark | 一键自动校准RF探针模块，自动清针功能 | 通讯接口：R232/485/TCP/IP/GPIB | ||
| 操作系统与应用分离；操作系统可独立式升级，应用独立升级 | ||||
| 特点： | ||||
| 超高的测试精度，效率和稳定性 | 便捷的仪器接入 | |||
| 多倍率同时显示光学系统 | 可升级大功率晶圆测试 | |||
| （-60~200℃）超低噪声高低温Chuck | 可升级射频测试 | |||
| 功能丰富的测试软件 | 可升级全自动测试 | |||
公司简介
SEMISHARE致力全球半导体技术的共享事业，专注于促进中国半导体事业的快速成长，目标成为半导体行业领先的total solution供应商。目前在中国设有半导体仪器营销事业群。
SEMISHARE半导体仪器营销事业群立足中国深圳，香港，北京，上海，西安等城市为全中国半导体行业提供全球最先进的半导体检测和工艺设备营销与技术集成服务，助力先进技术的研发。
SEMISHARE拥有热诚，专业的员工和遍及中国的营销及服务网络，快速响应客户需求，提供客户化的产品和端到端的服务，助力客户的成功。
目前，SEMISHARE的营销产品和解决方案已经应用于中国100多家客户，服务中国研发机构前50强中的40家。
售后服务
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深圳市宝安区福永桥头富桥第三工业区A8栋
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