旋涂仪
基本信息
产品名称：
旋涂仪
英文名称：
Plasma
国产/进口：
国产
产地/品牌：
中国大陆/赛奥特（SAT)
型号：
SAT200/300/400
参考报价：
询价，13811783535 李先生（微信同）
销售商：
总点击数：
159
更新日期：
2025-09-24
产品类别：
性能参数
SAT 系列旋涂仪（匀胶机）
应用领域
广泛应用于半导体,集成电路，材料，微光学，生命科学，凝聚态物理，化学等科学研究与生产。可用于硅片/载玻片/化合物镜片/ITO/导电玻璃等各种基底材料的表面处理和涂覆。
主要特点
1.采用闭环控制伺服电机，数字式增速信号反馈，速匀准确，寿命长，保证匀胶均匀。
2.触摸屏控制和触摸屏控制，智能程序化可编程操控显示，可储存编辑多个程序，可选择一段程序或者多段阶梯式程序运行。
3.内置水平校准装置，最大限度的保证旋涂均匀，可对大小不同规格的基片进行旋涂。
4.多重安全保护双重安全上盖，最大限度保证实验人员安全。
5.样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护,有效降低电机进胶风险.
6.一机两用，根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。
7.符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计，取放样品更方便。
8.旋涂腔体及上盖采用耐酸碱PP材料,保证仪器在苛刻条件下能正常运行.
9.上下双腔体设计，较大的上腔体便于擦拭去除胶液，锥形下腔体结构设计便于收集胶液，并带废胶收集装置。
10适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP 等多种材料。
技术参数
型号 SAT 200 SAT 300 SAT 400
控制系统 触摸屏 触摸屏 触摸屏
转速 300-10000rpm，可调可设定
加速度 0-10000rpm/s，可调可设定
转速稳定度 ±1％
匀胶时间 0-9999s
工作仓直径 直径200mm 直径300mm 直径400mm
基片尺寸 适用4英寸基片向下兼容 8英寸圆片向下兼容 12英寸圆片向下兼容
外形尺寸（L*W*H）mm 265*345*285 366*454*245
整机重量（约） 8.5Kg 12Kg
电 源 AC220/230V 50/60Hz
公司简介
赛奥特（北京）科技有限公司总部设在中国北京，是一家专业的生产研发销售为一体的高新企业，以研发生产销售等离子清洗系统为主，其前身为唐山燕赵研究院，由于业务的发展需要，自2014年08月01日全面接管唐山燕赵研究的等离子清系统的研发生产和销售。
自成立以来在广大用户的帮助与支持下，经不懈努力已成为中国材料学电子半导体LED等领域的专业供应商，其产品遍布全国的各个高校研究所企业等，是等离子体领域产品的主要供应商之一，本公司希望为您提供更好的产品，更多的便利及更专业的服务，为您的成功铺桥搭路！
我们拥有一支朝气蓬勃，团结互助的专业技术队伍，完善的售后服务体系，专业的安装人员和专门的售后服务跟踪人员，深得广大客户的赞许。
我公司本着“人性化”的原则，专业设计、严格的生产、精确的安装及完善的售后服务，这已成为赛奥特在本行业中的骄傲。
我们长期以来一直被模仿，但从未被超越，这就是我们的生存之本！
质量为先，信誉为重，管理为本，服务为诚。
售后服务
我公司自产自销的等离子设备提供一年的质保服务，终身免费技术支持 赵工：18632516883 李先生：13811783535（微信同）
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