扫描型光学膜厚仪 FR-Scanner--性能参数，报价/价格，图片

基本信息

产品名称：

扫描型光学膜厚仪 FR-Scanner

英文名称：

Film Thickness Gauges

国产/进口：

进口

产地/品牌：

ThetaMetrisis

型号：

FR-Scanner

参考报价：

销售商：

迈可诺技术有限公司

总点击数：

1559

更新日期：

2022-04-07

产品类别：

其它各类仪器

性能参数

FR-Scanner 扫描型光学膜厚仪主要由以下系统组成：
A) 光学光源装置
小型低功率混合式光源
本系统混合了白炽灯和LED灯，最终形成光谱范围360nm- 1100nm；该光源系统通过微处理控制，光源平均寿命逾10000小时；
集成小型光谱仪，光谱范围360-1020nm,分辨精度 3648像素CCD 和 16位 A/D 分辨精度.
集成式反射探针，6组透射光探针（200um），1组反射光探针，探针嵌入光源头，可修整位置，确保探针无弯曲操作；
光源功率:3W;
B) 超快扫描系统，平面坐标内，可进行625次测量/分钟 (8’’ wafer) 或500次测量/分钟(300mm wafer). 全速扫描时，扫描仪的功率消耗不超过200W；
样品处理台：最大样品处理尺寸可达300mm. 可满足所有半导体工艺要求的晶圆尺寸。手动调节测量高度可达25mm；配有USB通讯接口，功率：100 - 230V 115W.
C) FR-Monitor膜厚测试软件系统，
可精确计算如下参数：
1）单一或堆积膜层的厚度；
2）静态或动态模式下，单一膜层的折射率；本软件包含了类型丰富的材料折射率数据库，可以有效地协助用户进行线下或者在线测试分析。本系统可支持吸收率，透射率和反射率的测量，还提供任何堆积膜层的理论性反射光谱，一次使用授权，即可安装在任何其他电脑上作膜厚测试后的结果分析使用。
D) 参考样片:
a) 经校准过的反射标准硅片；
b) 经校准过的带有SiO2/Si 特征区域的样片；
E) 附件
可定制适用于半导体工艺的任何尺寸的晶圆片(2”, 3”, 4”, 5”, 6”, 200mm, 300mm)

公司简介

迈可诺技术有限公司是一家致力于光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商，在中国大陆设有内地营销服务中心，专业经销欧美日韩著名品牌实验室光电半导体化工仪器设备，零附件，试剂耗材，对中国国内广大客户提供全面的产品咨询和技术销售服务。

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