非接触三维形貌仪轮廓仪NH-3Ns
非接触三维形貌仪轮廓仪NH-3Ns

NH-3Ns
标准机型,具有卓越的功能和高性价比
规格
· 测量范围(X,Y,Z)= 150 x 150 x 10 mm
可选Z = 100 mm
· 精度(X,Y,Z)= 0.1×0.1×0.01μm


规格:
XY测量范围150×150mm~
测量高度 10mm(~100mm)
X测量精度0.1um
Y测量精度0.1um
Z测量精度Z1(AF)=0.01um Z2(Positioning)=0.1um
重复性σ=0.03um以内
三坐标测量、截面形状测量、粗糙度测量、点测量、高度测量等。