自动进料回转CVD系统 BTF-1200C-R-CVD
| 型号 | BTF-1200C-R-CVD |
| zui高温度 | 1100℃ |
| 升温速率 | 10℃/S |
| 加热区长度 | 440mm |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 加热元件 | 电阻丝 |
| 热电偶 | K型 |
| 控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。 |
| 炉管尺寸 | Φ60*420*2+Φ100*360mm |
| 炉管转速 | 3~13r/min |
| 倾斜角度 | 0~35° |
| 密封方式 | 两端法兰+磁流体密封 |
| 加热功率 | 3KW |
| 供电电源 | 220V50Hz |
| 设备净重 | 约200KG |
| 供气系统 | 100sccm、200sccm、500sccm(量程、流量计数量可选) |
| 真空系统 | 低真空机组(可选配高真空机组) |