PECVD型等离子增强化学气相沉积系统管式炉
PECVD产品简介：此款设备配有Plasma实现等离子增强，滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置，可准确的控制反应腔体内部的气体压力，带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用，工艺重复性好，对于石墨烯生长工艺非常合适，也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。
主要功能和特点：
1、利用辉光放电产生等离子体电子激活气相；
2、提高了气相反应的沉积速率、成膜质量；
3、可通过调整射频电源频率来控制沉积速率；
4、能广泛用于：石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生长。
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滑轨管式炉技术参数 |
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石英管尺寸 |
L1400mm Φ（60、80、100） |
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加热元件 |
掺钼铁铬铝合金电阻丝 |
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测温元件 |
K型热电偶 |
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加热区长度 |
400mm |
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恒温区长度 |
200mm |
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工作温度 |
≤1100℃ |
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控温模式 |
模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
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控温精度 |
±1℃ |
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升温速率 |
≤20℃/min |
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电功率 |
AC220V/50HZ/3KW |
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质量供气系统技术参数 |
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外形尺寸 |
600x600x600mm |
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标准量程 |
50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar、N2）； |
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压力表测量范围 |
-0.1Mpa～0.15Mpa |
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极限压力 |
3MPa |
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针阀 |
316不锈钢 |
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截止阀 |
Φ6mm 316不锈钢针阀 |
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电功率 |
AC220V/50HZ/20W |
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响应时间 |
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
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准确度 |
±1.5% |
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线性 |
±0.5～1.5% |
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重复精度 |
±0.2% |
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接口 |
Φ6,1/4'' |
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真空系统技术参数 |
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外型尺寸 |
600×600×600mm |
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工作电电压 |
220V±10% 50~60HZ |
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功率 |
400W |
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抽气速率 |
4L\s |
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极限真空 |
4X10-2Pa |
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实验真空度 |
1.0X10-1Pa |
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容油量 |
1.1L |
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进气口口径 |
KF25 |
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排气口口径 |
KF25 |
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转速 |
1450rpm |
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射频电源 |
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信号频率 |
13.56 MHz±0.005% |
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功率输出范围 |
3W-300W 5W-500W可选 |
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最大反射功率 |
200W |
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射频输出接口 |
50 Ω, N-type, female |
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功率稳定度 |
±0.1% |
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谐波分量 |
≤-50dbc |
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供电电压 |
单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ |
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整机效率 |
>=70% |
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功率因素 |
>=90% |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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经过几年的发展，目前公司已研发产品十大类，30多个系列，产品包括升降炉、气氛炉、真空炉、管式炉、箱式炉、井式炉、牙科设备-义齿烧结炉、实验室设备(净化台、真空手套箱、混料球磨机、摇床等)、蓝宝石晶体退火炉、大型烘箱、还有针对不同行业专门研发的不同炉型等，主要适用于科研单位、大专院校、新材料、新能源、物理、化学、冶金、玻璃、锂能等领域，并获得了广大用户的青睐与好评。上海微行炉业有限公司的电炉产品在炉温均匀性、发热元件的最佳应用、快速升温、超高温的获得等方面见长，处于国内领先水平。
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