EM阻剂/光刻胶/电子束抗蚀剂--性能参数，报价/价格，图片

基本信息

产品名称：

EM阻剂/光刻胶/电子束抗蚀剂

英文名称：

EM Resist(PMMA series & SML series for EBL)

国产/进口：

进口

产地/品牌：

英国EM Resist Ltd

型号：

PMMA(1%-17%)/SML50/

参考报价：

请电询:025-85432178

销售商：

南京覃思科技有限公司

总点击数：

16774

更新日期：

2026-04-01

产品类别：

电子显微镜

性能参数

Made in UK, 英国EM Resist Ltd出品的光刻胶（浓度1%-17%/厚度20nm-3500nm PMMA、SML系列电子束曝光阻剂），PMMA是常用的普通正阻剂；SML系列阻剂是高分辨率高深宽比的正阻剂。高档的SML正阻剂特点：无需邻近效应校正，低加速电压下也能使用，可提高EBL设备能力并制作出传统PMMA做不出来的新颖微纳器件，特别适合科研应用；有SML50、SML100、SML300、SML600、SML1000、SML2000等系列型号（数字表示光刻胶涂布厚度）。 [资料]PMMA (Polymethyl – Methacrylate；聚甲基丙烯酸甲酯；positive tone, polymer chain scission type for Electron beam, DUV, x-ray and multi-level lithography) is a widely used, versatile resist that is used for many imaging (and non-imaging) micro-electronic applications as well as a protective coating for wafer thinning, a bonding adhesive and as a sacrificial layer, but is commonly used as a high resolution positive resist for direct write with e-beam. EM Resist Ltd specialises in electron beam lithography resists and applications. We develop and manufacture electron beam resists in a purpose built clean-room facility to ensure maximum quality and performance.Our products and expertise are the result of many years research by experienced physicists and material scientists in both academia and industry. EM Resist products are provided in a clean room compatible box, if you need Material Safety Data Sheets, Process Information, Example design files and other useful information, please contact with our Chinese Distributor(www.tansi.com.cn). PMMA Product Options. First,select which solvent(Anisole or Chlorobenzene) best suits your application. Second,select which solid percentage(1%-17%, 20nm-3500nm) of thickness required.Third,choose a volume to suit your usage needs. PMMA系列和SML系列电子束曝光阻剂/光刻胶，常作为美国JC Nabity出品的基于电镜安装的NPGS电子束曝光系统或其它类型EBL系统的配套耗材使用（详见www.tansi.com.cn）,欢迎选购！

公司简介

南京覃思科技有限公司成立于2004年，总部位于南京，在北京设有分公司，业务覆盖全国及港澳地区。公司专注于电子光学与实验室科研领域的仪器及耗材销售与技术服务，主要产品涵盖电子显微镜、光学显微镜、X射线、Micro CT 等相关仪器及配套软硬件。
作为多家国际知名品牌的中国区授权代理，覃思科技长期合作的品牌包括：荷兰 Delmic、美国 JC Nabity、瑞士 Safematic、美国 Tousimis、加拿大 Dragonfly、荷兰 ASI、美国 PIE Scientific、法国 TRAD、丹麦 DeltaPix、加拿大 KA Imaging、韩国 LabSpinner 和荷兰 Micro to Nano。
此外，我们也提供一系列自研和国产配套产品，如 TS3000 清洁度检查系统、ACCUR 系列电动扫描平台，并承接显微镜数字化改造及微束分析类非标定制服务。
我们的客户广泛分布于高校、科研院所、医疗机构、政府机关及工业企业，长期合作单位包括北大、清华、浙大、南大、东大、复旦、同济、上海交大、中科大等名校；中科院微生物所、遗传所、生物物理所、近代物理所、微电子所、等离子所、植生所、水生所、寒旱所、金属所、海洋三所、上海光机所、长春应化所、山西煤化所、广州能源所、上海石化院、大庆油田、胜利油田、国家纳米中心、紫金山天文台等知名科研机构；广西、山东、宁波等检验检疫局，北京法医鉴定中心等国家机构；Intel英特尔、博世Bosch、希捷Seagate等跨国企业；华为、天马、首钢等国内骨干企业。
公司秉持“诚信经营、诚实服务”的宗旨，致力于为客户提供先进可靠的产品与专业周到的服务，愿与各界携手共进，共创未来。

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