近红外金相显微镜
MIR100红外显微镜——VECSEL芯片无损红外透视显微解决方案
第二代半导体(硅基)
20世纪90年代以来,随着移动通信的快速发展,以光纤通信和互联网为基础的信息高速公路的兴起,以砷化镓、磷化铟为代表的第二代半导体材料开始涌现。
垂直腔面发射激光器(vertical cavity surface emitting laser),VMK系列、MM系列近红外2D、2.5D多年来服务于技术量产VECSEL芯片企业的研发、品检、生产中,提供了高性价比的VECSEL全设计波段无损检测解决方案。
垂直腔面发射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser,简称VCSEL,又译垂直共振腔面射型激光)是一种半导体,其激光垂直于顶面射出,与一般用切开的独立芯片制程,激光由边缘射出的边射型激光有所不同。常规的金相显微镜无法观测VECSEL产品,
以下为近红外显微镜MIR100拍摄的图片:效果图片请联系我司
1.1可见光VCSEL氧化孔径效果图
1.2 MIR100近红外显微镜VCSEL氧化孔径效果图
2.1可见光VCSEL氧化孔径效果图
2.2 MIR100近红外显微镜VCSEL氧化孔径效果图
红外金相显微镜应用范围:
1.封装芯片,晶圆级CSP/SIP的非破坏检查,倒装芯片封装的不良状况无损分析,
透过硅观察IC芯片内部;IR近红外线显微镜,可以对SiP(System in Package)三维组装,CSP(Chip Size Package)等用可视观察无法看到的领域进行无损检查和分析,正置红外显微镜,专用红外硅片检测显微镜,硅衬底的CSP观察。
2.Vcsel芯片隐裂(cracks),InGaAs瑕疵红外无损检测,LED LD芯片出光面积测量,Chipping(chip crack)失效分析,封装芯片的内部缺陷,焊点检查,键合片bumping,FlipChip正反面键合定位标记重合误差无损测量,可以定制开发软件模块快速自动测量重合误差,硅基半导体Wafer,碲化镉CdTe ,碲镉汞HgCdTe等化合物衬底无损红外检测,太阳能电池组件综合缺陷,红外检测,LCD RGB像元面积测量.
3.IR显微镜可用于透过硅材料成像,倒装芯片封装的不良状况无损分析,通过红外显微镜对硅片穿透可观察晶体生长过程中的位错,隐裂痕,芯片划片封装的不良状况无损分析,封装后的焊接部分检查,可直接穿透厚度不超过600μm的硅片,观察IC芯片内部,观察内部线路断裂,崩边,崩裂,溢出等,也应用于包括产品晶圆生产内部缺陷检查,短断路检查,键合对准(薄键合电路).