分光干涉式晶圆膜厚仪 SF-3
基本信息
产品名称：
分光干涉式晶圆膜厚仪 SF-3
英文名称：
国产/进口：
进口
产地/品牌：
日本/大塚
型号：
参考报价：
销售商：
总点击数：
968
更新日期：
2025-11-02
产品类别：
性能参数
●非接触式、非破坏性光学式膜厚检测
●采用分光干涉法实现高度检测再现性
●可进行高速的即时研磨检测
●可穿越保护膜、观景窗等中间层的检测
●可对应长工作距离、且容易安裝于产线或者设备中
●体积小、省空間、设备安装简易
●可对应线上检测的外部信号触发需求
●采用最适合膜厚检测的独自解析演算法。(已取得专利)
●可自动进行膜厚分布制图(选配项目)
●采用分光干涉法实现高度检测再现性
●可进行高速的即时研磨检测
●可穿越保护膜、观景窗等中间层的检测
●可对应长工作距离、且容易安裝于产线或者设备中
●体积小、省空間、设备安装简易
●可对应线上检测的外部信号触发需求
●采用最适合膜厚检测的独自解析演算法。(已取得专利)
●可自动进行膜厚分布制图(选配项目)
| SF-3 | |
|---|---|
| 膜厚测量范围 | 0.1 μm ~ 1600 μm※1 |
| 膜厚精度 | ±0.1% 以下 |
| 重复精度 | 0.001% 以下 |
| 测量时间 | 10msec 以下 |
| 测量光源 | 半导体光源 |
| 测量口径 | Φ27μm※2 |
| WD | 3 mm ~ 200 mm |
| 测量时间 | 10msec 以下 |
※1 随光谱仪种类不同,厚度测量范围不同
※2 最小Φ6μm
公司简介
上海波铭科学仪器有限公司成立于2013年，是一家专业从事科学仪器研发、生产、 销售于一体的高科技技术企业。公司主要服务于全国各大高校、科研院所和高尖端工 业客户。主要提供光学仪器如光栅光谱仪、荧光光谱仪，膜厚测量仪，探测器响应分 析仪、太阳能电池量子效率测试系统等科研实验室仪器；及光学机械加工设计，电子 测量等专业的解决方案服务。公司以“专注质量、用心服务”为核心价值。希望通过 我们的专业水平和不懈努力，力争为中国的科研及精密制造事业贡献一股力量。 上海波铭科学仪器公司为美国理波公司（Newport）、日本大塚（Otsukael）正 式代理商。配有专业光学技术人员，专注于光学仪器市场的开发和应用，已经为复旦 大学、上海交通大学、上海科技大学、南京大学、中国科技大学、北京大学、清华大 学、联影医疗、思特威电子等用户提供专业的服务。 公司成立多年来，我们一直秉承以用户需求为核心，在专注光学等核心技术市场的 同时，已经为超过一百家高校科研院所和企业提供了成套和部分的解决方案服务。优 质、用心的服务赢得了众多用户的信赖和好评。公司不仅仅提供专业的光学解决方案 服务，同时还建立了完善的售后服务体系。我们相信，通过我们的不断努力和追求， 一定能够实现与高校、企业、科研院所的互利共赢！
售后服务
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联系方式
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详细地址：
上海市浦东新区叠桥路456弄创研智造C7区301室
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