生物芯片处理

SU8光刻胶

基本信息
产品名称:
SU8光刻胶
英文名称:
国产/进口:
进口
产地/品牌:
美国Micro Chem
型号:
SU8 3005 3025 3050
参考报价:
总点击数:
3879
更新日期:
2026-01-06
产品类别:

性能参数
SU-8 3000是一种高对比度,基于环氧的光刻胶,专为微加工和其他微电子应用中,
需要化学和热稳定的图像。 SU-8 3000是SU-8和SU-8 2000的改进配方,已被广泛采用
由MEMS生产商使用多年。 SU-8 3000有配制用于改善附着力和降低涂层应力。
SU-8 3000的粘度范围允许膜厚为4至单层涂层厚度为120 µm。

特征
•提高附着力

       •降低涂层应力

       •高纵横比成像

       •垂直侧壁

       •单层涂膜厚度大于100mm

        •出色的抗干蚀刻性

SU-8 3000抗蚀剂经过专门设计,可与MicroChem的SU-8显影剂一起用于浸渍,喷涂或喷浆工艺。 也可以使用其他基于溶剂的显影剂,例如乳酸乙酯和双丙酮醇。 对于高纵横比和/或厚膜结构,也建议强烈搅拌。 表6中给出了浸入过程的建议显影时间。这些显影时间是近似的,因为实际溶解速度会随着搅拌而变化很大。

SU-8 3000具有良好的机械性能。 但是,对于要保留成像的抗蚀剂作为最终设备一部分的应用,可以在加热板上或对流烤箱中在150-200°C之间将抗蚀剂进行坡道/分步硬烘烤,以进一步使材料交联。 烘烤时间根据烘烤过程的类型和膜厚的不同而不同。

公司简介
武汉市洪山区莱博兹科学仪器经营部成立于2020年09月22日,注册地位于武汉市洪山区珞珈山大厦主楼15层1506室,法定代表人为高珍珍。经营范围包括网上销售:教学仪器仪表、五金产品、金属结构产品、办公用品、计算机及辅助设备、实验室化学试剂(不含有毒有害易燃易爆危险品)、实验室用品、塑料制品、实验室耗材;教学仪器仪表技术咨询服务。(涉及许可经营项目,应取得相关部门许可后方可经营)

售后服务
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联系方式
单位名称:
详细地址:
湖北省武汉市洪山区珞珈山大厦主楼15层1506室
qq:
3488598979
联系电话:

15902764401

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