生物芯片处理

AZ光刻胶

基本信息
产品名称:
AZ光刻胶
英文名称:
国产/进口:
进口
产地/品牌:
德国默克
型号:
AZ1505/1512/1518
参考报价:
总点击数:
3002
更新日期:
2022-05-16
产品类别:

性能参数
 AZ 1500系列 ---高感光度标准G线正型光刻胶---High Sensitivity Standard g-line Positive-tone Photoresist

特 征
1)   通用正性光刻胶,具有出色的基材附着力,适合要求苛刻的湿法蚀刻
2)   高感光度,高产出率
3)   高附着性,特别为湿法刻蚀工艺改进
4)   广泛应用于半导体行业
5) 旋涂厚度从0.5到6μm

参考工艺条件
前烘 :100℃ 60秒 (DHP)
曝光 :G线步进式曝光机/接触式曝光机310-450nm
显影 :AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle
清洗 :去离子水30秒
后烘 :120℃ 120秒 (DHP)
剥离 :AZ剥离液及/或氧等离子体灰化

配套产品
 AZ® EBR 溶剂
 AZ® EBR 70/30显影剂
 AZ® 300MIF,
 AZ® 400K 1:4去胶
 
公司简介
武汉市洪山区莱博兹科学仪器经营部成立于2020年09月22日,注册地位于武汉市洪山区珞珈山大厦主楼15层1506室,法定代表人为高珍珍。经营范围包括网上销售:教学仪器仪表、五金产品、金属结构产品、办公用品、计算机及辅助设备、实验室化学试剂(不含有毒有害易燃易爆危险品)、实验室用品、塑料制品、实验室耗材;教学仪器仪表技术咨询服务。(涉及许可经营项目,应取得相关部门许可后方可经营)

售后服务
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资料下载
暂无
联系方式
单位名称:
详细地址:
湖北省武汉市洪山区珞珈山大厦主楼15层1506室
qq:
3488598979
联系电话:

18221354817

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