EFA(基于EBIC及EBAC技术)电性失效分析系统
基本信息
产品名称：
EFA(基于EBIC及EBAC技术)电性失效分析系统
英文名称：
国产/进口：
进口
产地/品牌：
德国/PE
型号：
EFA
参考报价：
销售商：
总点击数：
994
更新日期：
2025-11-01
产品类别：
性能参数
尚丰科技向用户提供基于EBIC电子束感生电流技术和EBAC电子束吸收电流分析技术的EFA电性失效分析系统。
最高分辨率下表征样品连接处的性能
对样品中的开路、有阻值或者短路缺陷进行精准定位
可在在很薄的绝缘体层中确定缺陷位置
1欧姆精度下，可对低至100欧姆电阻结构制图
适用于SEM/FIB的纳米探针样品台
尚丰科技致力于引进推广先进的材料、生物显微观测及微区分析仪器，向科研人员提供高附加值服务。
我们拥有一支涉及众多领域高素质的应用支持团队，为各行业的应用需求提供专业的解决方案和售后服务。
敬请联络
010-62369061
guo_sem@163.com
最高分辨率下表征样品连接处的性能
- 亚微米平面分辨率下揭示电路集成
- 诊断电路结构和其他长期课题，包括电路污染、金属花斑缺陷（pattering defects），电阻互联板（resistive interconnectors）或者电迁移（electro-migration）
- 直接辨别电路缺陷到具体某一层和失效的具体位置，迅速改进从而有效提生产品质量
对样品中的开路、有阻值或者短路缺陷进行精准定位
- 对金属线中由于断裂、腐蚀、电子迁移或者外来颗粒造成的电路阻断进行精准定位
- 准确识别连接处由于界面污染造成的电阻开路
- FIB制样过程中精准定位，为透射电镜做出高质量样品
可在在很薄的绝缘体层中确定缺陷位置
- 在彻底失效前，直接观测栅极氧化层（GOX）和氧化电容器（COX）中的缺陷，并对其精准定位
- 亚微米分辨率下，精准定位由静电放电（ESD）和过电应力（EOS）导致的氧化物短路
- 定位过程中，通过低至nW级的电力损耗，可有效保护样品的原始缺陷特征
1欧姆精度下，可对低至100欧姆电阻结构制图
- 高空间分辨率下绘制电阻图，受限于扫描电镜的 电子束和样品作用体积(interaction volume)
- 确认电阻和电容中相对标称值的偏离
- 揭示CMOS的连接、电阻和电容结构中的损坏和失效机理
适用于SEM/FIB的纳米探针样品台
- 最高达8个纳米探针机器人，用于纳米分辨率下的X，Y，Z轴运动和旋转
- 可取出的附带原位电器的纳米探针样品台，用于低噪音快速分析
- 完全的软件集成和软件控制
- 也适用于光学显微镜
尚丰科技致力于引进推广先进的材料、生物显微观测及微区分析仪器，向科研人员提供高附加值服务。
我们拥有一支涉及众多领域高素质的应用支持团队，为各行业的应用需求提供专业的解决方案和售后服务。
敬请联络
010-62369061
guo_sem@163.com
公司简介
尚丰科技致力于引进推广先进的材料、生物显微观测及微区分析仪器，向科研人员高附加值服务，促进中国的科学技术发展。
尚丰科技产品包括德国Point Electronic电子束感生电流分析系统EBIC，电子束吸收电流分析系统EBAC-RCI，扫描透射电子束感生电流分析系统STEBIC等，以及德国MICROTEC大型精密切片机等等。
我们拥有一支涉及众多领域高素质的应用支持团队，为各行业的应用需求提供专业的解决方案和售后服务。
尚丰科技产品包括德国Point Electronic电子束感生电流分析系统EBIC，电子束吸收电流分析系统EBAC-RCI，扫描透射电子束感生电流分析系统STEBIC等，以及德国MICROTEC大型精密切片机等等。
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售后服务
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