优测基础型探针台DM4
| 技术参数 产品型号 | DM-4 | DM-6 | DM-8 | |
| 探针台本体 | 整机尺寸 (mm) | 400L*400W*520H | 450L*450W*520H | 500L*500W*520H |
| 重量 | 25kg | 30kg | 40kg | |
| 自适应减震系统 | 具备自适应减震系统 , 一定程度上可防止外界震动的干扰 | |||
| 卡盘大小 | 4 英寸 , 360 度转动 , 可微调 | 6 英寸 , 360 度转动 , 可微调 | 8 英寸 , 360 度转动 , 可微调 | |
| 卡盘行程和精度 | 4 英寸*4 英寸 , 精度 10um | 6 英寸*6 英寸 , 精度 10um | 8 英寸*8 英寸 , 精度 10um | |
| 卡盘吸附方式 | 真空吸附 , 可选择环形吸附或者多孔吸附 (适用于薄片) | |||
| 背电极测试功能 | 具备 , 样品台电学独立悬空 , 带 4mm 香蕉头插口 | |||
| 针座平台 | 材质 | U 型平台 , 镀镍 , 与探针座之间具备更强吸附力 | ||
| 大小 | 最多可放置4个探针座 | 最多可放置6个探针座 | 最多可放置8个探针座 | |
| 显示系统 | 显微镜 | 体式显微镜/视频显微镜(注意视场) | ||
| 倍率范围 | 16X~100X/60X~420X | |||
| 调焦范围 | 50.8mm | |||
| 显微镜移动 | 显微镜环绕立柱旋转式设计 , 便于快速移动显微镜 | |||
| CCD 成像系统 | 200 万/500 万像素 ,帧率 60fps,带拍照/录像/测量功能等功能 | |||
| 探针座 | 种类 | DR/L-100m/V 和 DR/L-40m | ||
| X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
| 机械精度 | 0.35um/0.7um/2um | |||
| 夹具 | 漏电精度 | 10pA/100fA | ||
| 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口/SMA/裸线等 | |||
| 其它 | 选件 | 屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘等 | ||
| 电力需求 | 220V/50HZ | |||
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详细地址:
宝龙街道宝龙社区宝龙四路2号安博科技宝龙厂区2号厂房
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