普乐斯等离子干刻机 干法蚀刻机 JY-36LN
基本信息
产品名称：
普乐斯等离子干刻机 干法蚀刻机 JY-36LN
英文名称：
国产/进口：
国产
产地/品牌：
苏州/普乐斯
型号：
JY-36LN
参考报价：
销售商：
总点击数：
774
更新日期：
2025-08-05
产品类别：
性能参数
特点：
v触摸屏操作界面
v数字及图标多重工艺参数实时显示
v三色灯异常报警功能
v自动/手动操作模式切换
v可存储多套工艺配方
v远程操控，数据导出（可选）
v模块多样化选择，多层托架可选，处理量大
v触摸屏操作界面
v数字及图标多重工艺参数实时显示
v三色灯异常报警功能
v自动/手动操作模式切换
v可存储多套工艺配方
v远程操控，数据导出（可选）
v模块多样化选择，多层托架可选，处理量大
| 型号 | JY-36LN | ||
| 控制系统 | 控制方式 | 全自动控制（自动/手动切换） | |
| PLC（标配）/PC（可选） | |||
| 操作系统 | PLS定制 | ||
| 触摸屏 | 15寸 | ||
| 整机规格 | 尺寸 | W650×D900×H1650mm | |
| 腔体 | 尺寸 | 320×280mm | |
| 材质 | 铝合金（标配）/不锈钢（可选） | ||
| 电极 | 尺寸 | W390×D317mm | |
| 层数 | 1-7层，可选 | ||
| 托架 | 材质 | 铝合金（标配）/不锈钢（可选） | |
| 层数 | 1层 | ||
| 真空计 | 皮拉尼式真空计 | 1个 | |
| 流量计 | MFC质量流量控制器 | 2个；Ar、N2、O2（可选） | |
| 真空泵 | 机械油式旋片泵 | 1套 | |
| 发生器 | 中频/射频 | 40KHz，0~1000W | 13.56MHz，0~500W |
| 额定功率 | 整机峰值功率 | 4KW | |
| 机台供电 | 三相五线式 | AC-380V | |
| 选购品 | 干式泵、气浴电极（打孔）、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件 | ||
公司简介
昆山普乐斯电子科技有限公司成立于2010年，是一家集等离子表面处理技术研发、制造、销售和推广于一体的高科技公司。作为一家专业的等离子表面处理应用技术方案公司普乐斯PLAUX致力十整合等离子表面处理技术、自动化以及人工智能等各要素，注重客户体验与互动，积极参与先进材料研发、加工和器件制造工艺的创新。
售后服务
相关视频
暂无
资料下载
暂无
